| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第8页 |
| 1.2 ZnO 的晶体结构及物理特性 | 第8-10页 |
| 1.3 ZnO 薄膜的研究现状 | 第10-14页 |
| 1.3.1 ZnO 薄膜的制备技术 | 第10-13页 |
| 1.3.2 ZnO 薄膜的应用 | 第13-14页 |
| 1.4 ZnO 薄膜衬底缓冲层的研究进展 | 第14-17页 |
| 1.5 研究内容及意义 | 第17-18页 |
| 第二章 实验材料及方法 | 第18-22页 |
| 2.1 实验材料 | 第18页 |
| 2.2 ZnO 薄膜的制备 | 第18-19页 |
| 2.3 试样的组织及织构表征 | 第19-22页 |
| 2.3.1 XRD 对物相及宏观织构的测试 | 第19-21页 |
| 2.3.2 EBSD 检测基底的晶粒取向 | 第21页 |
| 2.3.3 AFM 观察 ZnO 薄膜的表面形貌 | 第21-22页 |
| 第三章 单晶 Al 衬底上 ZnO 薄膜的组织结构 | 第22-34页 |
| 3.1 Al{001}和 Al{111}衬底上 ZnO 薄膜的显微形貌 | 第22-25页 |
| 3.2 不同 Al 衬底上 ZnO 薄膜的织构 | 第25-33页 |
| 3.2.1 Al{001}衬底上 ZnO 薄膜的织构 | 第25-28页 |
| 3.2.2 Al{111}衬底上 ZnO 薄膜的织构 | 第28-30页 |
| 3.2.3 Al 衬底取向与 ZnO 薄膜织构的外延特性 | 第30-33页 |
| 3.3 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 高纯 Al 再结晶织构的演变 | 第34-48页 |
| 4.1 实验材料与方法 | 第34页 |
| 4.2 再结晶退火温度对高纯 Al 显微形貌的影响 | 第34-37页 |
| 4.3 再结晶退火过程中 Al 的织构演变 | 第37-47页 |
| 4.3.1 冷轧 Al 的织构分析 | 第38-39页 |
| 4.3.2 再结晶 Al 的织构分析 | 第39-44页 |
| 4.3.3 再结晶过程中 Al 的织构演变行为 | 第44-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第五章 多晶 Al 衬底上的 ZnO 薄膜 | 第48-65页 |
| 5.1 实验材料与方法 | 第48页 |
| 5.2 溅射工艺及衬底对 ZnO 薄膜的影响 | 第48-51页 |
| 5.3 Al 衬底取向与 ZnO 薄膜织构的分析 | 第51-60页 |
| 5.3.1 Al 衬底的选取及取向分析 | 第51-53页 |
| 5.3.2 ZnO 薄膜的物相及形貌 | 第53-55页 |
| 5.3.3 ZnO 薄膜的织构分析 | 第55-58页 |
| 5.3.4 Al 衬底取向与 ZnO 薄膜织构的外延关系 | 第58-60页 |
| 5.4 Al 衬底对 ZnO 薄膜的影响 | 第60-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-65页 |
| 第六章 全文结论 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第71页 |
