| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第9-13页 |
| 1.2 SiC表面钝化的国内外研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 本文的研究思想和内容 | 第15-17页 |
| 2 SiC表面钝化计算相关的基础理论和方法 | 第17-29页 |
| 2.1 Born-Oppenheimer近似 | 第17-18页 |
| 2.2 Hartree-Fock近似 | 第18-19页 |
| 2.3 密度泛函理论 | 第19-24页 |
| 2.3.1 Thomas Fermi-Dirac近似 | 第20页 |
| 2.3.2 Hohenberg-Kohn定理 | 第20-21页 |
| 2.3.3 Kohn-Sham方程：有效的单电子近似法 | 第21-22页 |
| 2.3.4 交换关联泛函 | 第22-23页 |
| 2.3.5 基组与赝势法 | 第23-24页 |
| 2.4 表面反应计算方法 | 第24-27页 |
| 2.4.1 微动弹性带方法 | 第25-27页 |
| 2.4.2 最小化方法 | 第27页 |
| 2.5 计算软件 | 第27-28页 |
| 2.6 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 SiC表面碳团簇的吸附 | 第29-40页 |
| 3.1 计算细节 | 第29-31页 |
| 3.2 SiC的表面吸附位 | 第31-32页 |
| 3.3 碳团簇在SiC表面的形成 | 第32-36页 |
| 3.4 碳团簇在SiC表面的吸附形态 | 第36-38页 |
| 3.5 碳原子的芯能级结合能转移 | 第38-39页 |
| 3.6 本章小结 | 第39-40页 |
| 4 4H-SiC表面碳团簇的氢钝化研究 | 第40-47页 |
| 4.1 SiC表面碳团簇的氢吸附构型 | 第40-41页 |
| 4.2 SiC表面碳团簇的氢钝化分析 | 第41-45页 |
| 4.3 氢吸附体系的总态密度分析 | 第45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 5 SiC表面碳团簇的氮吸附研究 | 第47-54页 |
| 5.1 SiC表面碳团簇的氮吸附构型 | 第47-49页 |
| 5.2 SiC表面碳团簇的氮吸附性质 | 第49-51页 |
| 5.3 氮吸附体系的总态密度分析 | 第51-52页 |
| 5.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |