| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-28页 |
| 1.1 引言 | 第9-12页 |
| 1.1.1 光纤传感器原理 | 第10页 |
| 1.1.2 光纤传感器的分类 | 第10-11页 |
| 1.1.3 光纤传感器的优点与应用 | 第11-12页 |
| 1.1.4 光纤温度传感器的优点与应用 | 第12页 |
| 1.2 光纤温度传感器的国内外研究近况 | 第12-23页 |
| 1.2.1 纯光纤温度传感器 | 第13-19页 |
| 1.2.2 光纤-特殊材料温度传感器 | 第19-23页 |
| 1.2.3 光纤温度传感器国内外现状分析 | 第23页 |
| 1.3 双光子聚合技术及其现状 | 第23-26页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第26-28页 |
| 第2章 光纤-聚合物温度传感器的理论与仿真 | 第28-45页 |
| 2.1 光纤-聚合物温度传感器理论计算 | 第28-31页 |
| 2.2 光纤-聚合物温度传感器RSOFT仿真 | 第31-40页 |
| 2.2.1 基于单固态SU-8 光刻胶传感结构的Rsoft仿真 | 第31-38页 |
| 2.2.2 基于双固态SU-8 光刻胶传感结构的Rsoft仿真 | 第38-40页 |
| 2.3 双光子聚合理论简述 | 第40-43页 |
| 2.4 SU-8 光刻胶性能介绍 | 第43-44页 |
| 2.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 基于单固态SU-8 光刻胶传感结构的制备研究 | 第45-57页 |
| 3.1 基于单固态SU-8 光刻胶MZI传感结构的设计 | 第45页 |
| 3.2 基于单固态SU-8 光刻胶MZI传感结构的制备 | 第45-50页 |
| 3.2.1 平台搭建 | 第46页 |
| 3.2.2 样品准备 | 第46-48页 |
| 3.2.3 结构制备 | 第48-50页 |
| 3.3 基于单固态SU-8 光刻胶MZI传感结构的特性测试与分析 | 第50-55页 |
| 3.3.1 温度传感特性测试与分析 | 第50-53页 |
| 3.3.2 折射率传感特性测试与分析 | 第53-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-57页 |
| 第4章 基于双固态SU-8 光刻胶传感结构的制备研究 | 第57-64页 |
| 4.1 基于双固态SU-8 光刻胶MZI传感结构的设计与制备 | 第57-60页 |
| 4.1.1 结构的设计 | 第57页 |
| 4.1.2 结构的制备 | 第57-60页 |
| 4.2 基于双固态SU-8 光刻胶MZI传感结构的测试与分析 | 第60-62页 |
| 4.3 本章小结 | 第62-64页 |
| 结论 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
