| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 缩写、符号清单、术语表 | 第13-18页 |
| 1 绪论 | 第18-30页 |
| 1.1 光子晶体 | 第18-20页 |
| 1.2 人造表面等离子体 | 第20-22页 |
| 1.3 光子晶体中的负折射 | 第22-24页 |
| 1.4 光子晶体谐振腔 | 第24-26页 |
| 1.5 集成耦合器 | 第26-28页 |
| 1.6 微腔折射率传感器 | 第28-29页 |
| 1.7 本文的工作 | 第29-30页 |
| 2 方法 | 第30-52页 |
| 2.1 仿真计算方法 | 第30-34页 |
| 2.2 实验制备流程 | 第34-37页 |
| 2.3 电子束光刻的邻近效应校正 | 第37-46页 |
| 2.4 硅悬空结构的湿法加工 | 第46-50页 |
| 2.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 3 微波段人造表面等离子体开放腔 | 第52-64页 |
| 3.1 负等效折射率的人造表面等离子体模式 | 第53-55页 |
| 3.2 开放腔的结构设计 | 第55-57页 |
| 3.3 开放腔谐振模式的仿真结果 | 第57页 |
| 3.4 实验测量与讨论 | 第57-61页 |
| 3.5 开放腔在传感方面的应用以及其它波段实现的可行性 | 第61-62页 |
| 3.6 本章小结 | 第62-64页 |
| 4 紧凑型Nanobeam微腔耦合器 | 第64-76页 |
| 4.1 耦合模式的隧穿效应 | 第64-65页 |
| 4.2 Nanobeam微腔 | 第65-66页 |
| 4.3 耦合Nanobeam微腔系统中的简并模式 | 第66-68页 |
| 4.4 仿真结果 | 第68-69页 |
| 4.5 样品加工与实验测量 | 第69-71页 |
| 4.6 结果讨论 | 第71-74页 |
| 4.7 本章小结 | 第74-76页 |
| 5 基于负折射光子晶体慢光波导的微腔折射率传感器 | 第76-86页 |
| 5.1 负GH位移与慢光波导 | 第76-77页 |
| 5.2 光子晶体慢光波导及谐振腔的设计 | 第77-81页 |
| 5.3 理论仿真 | 第81-82页 |
| 5.4 实验制备 | 第82-85页 |
| 5.5 本章小结 | 第85-86页 |
| 6 总结与展望 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-102页 |
| 作者简历 | 第102-104页 |
| 发表文章目录 | 第104页 |