| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-10页 |
| 缩略词表 | 第11-16页 |
| 第1章 绪论 | 第16-30页 |
| 1.1 引言 | 第16-17页 |
| 1.2 声表面波器件概述 | 第17-19页 |
| 1.3 声表面波传感器 | 第19-22页 |
| 1.3.1 声表面波传感器原理 | 第19-20页 |
| 1.3.2 声表面波传感器研究情况 | 第20-22页 |
| 1.4 声表面波微流体致动器 | 第22-26页 |
| 1.4.1 声表面波微流体致动器原理 | 第22-24页 |
| 1.4.2 声表面波微流体致动器研究情况 | 第24-26页 |
| 1.5 论文研究意义和章节安排 | 第26-30页 |
| 1.5.1 论文研究的意义 | 第26-27页 |
| 1.5.2 论文章节安排 | 第27-30页 |
| 第2章 声波传输及微流效应原理和器件设计制备 | 第30-56页 |
| 2.1 固体中的声波传输 | 第30-36页 |
| 2.1.1 弹性理论 | 第30-33页 |
| 2.1.2 压电效应 | 第33-36页 |
| 2.2 固体中的声波 | 第36-41页 |
| 2.2.1 瑞利波(Rayleigh wave) | 第37-38页 |
| 2.2.2 乐甫波(Love wave) | 第38-39页 |
| 2.2.3 斯东利波(Stoneley wave) | 第39页 |
| 2.2.4 兰姆波(Lamb wave) | 第39-41页 |
| 2.3 声表面波漏波的声致微流效应 | 第41-43页 |
| 2.4 SAW器件设计 | 第43-47页 |
| 2.5 器件工艺制作流程简介 | 第47-54页 |
| 2.5.1 光刻工艺及IDT制备 | 第47-50页 |
| 2.5.2 ZnO薄膜生长 | 第50-54页 |
| 2.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 相关成果发表于 | 第55-56页 |
| 第3章 ZnO薄膜SAW器件及其微流特性 | 第56-78页 |
| 3.1 ZnO薄膜表征 | 第56-59页 |
| 3.2 SAW器件制备和射频测试 | 第59-64页 |
| 3.3 薄膜SAW器件的有限元分析 | 第64-67页 |
| 3.4 薄膜器件的温度效应 | 第67-69页 |
| 3.5 器件的微流体测试结果及讨论 | 第69-75页 |
| 3.5.1 微流体测试系统搭建 | 第69-70页 |
| 3.5.2 声致微流效应 | 第70-71页 |
| 3.5.3 微粒集聚效应 | 第71-74页 |
| 3.5.4 微流体性能总结 | 第74-75页 |
| 3.6 本章小结 | 第75-76页 |
| 相关成果发表于 | 第76-78页 |
| 第4章 钪掺杂AlN薄膜SAW器件研究 | 第78-96页 |
| 4.1 AlN薄膜钪掺杂的研究情况 | 第78-80页 |
| 4.2 AlScN薄膜生长及表征 | 第80-85页 |
| 4.2.1 AlScN薄膜生长 | 第80页 |
| 4.2.2 AlScN薄膜表征 | 第80-85页 |
| 4.3 AlN和AlScN薄膜器件射频特性和机电耦合系数 | 第85-88页 |
| 4.3.1 器件的射频特性 | 第85-87页 |
| 4.3.2 器件的声速和机电耦合系数 | 第87-88页 |
| 4.4 器件的微流体性能及讨论 | 第88-93页 |
| 4.4.1 声致微流 | 第89-91页 |
| 4.4.2 液滴驱动 | 第91-93页 |
| 4.5 温度效应 | 第93页 |
| 4.6 本章小结 | 第93-94页 |
| 相关成果发表于 | 第94-96页 |
| 第5章 微流体应用——细胞裂解器 | 第96-106页 |
| 5.1 SAW细胞粉碎原理 | 第96-97页 |
| 5.2 器件制备及测试条件 | 第97-99页 |
| 5.3 器件性能及讨论 | 第99-100页 |
| 5.4 细胞裂解结果及讨论 | 第100-104页 |
| 5.5 本章小结 | 第104页 |
| 相关成果发表于 | 第104-106页 |
| 第6章 ZnO薄膜SAW透明紫外传感器 | 第106-118页 |
| 6.1 ZnO薄膜紫外传感器原理 | 第106-107页 |
| 6.2 器件制备及薄膜表征 | 第107-110页 |
| 6.2.1 透明SAW紫外传感器制备 | 第107-109页 |
| 6.2.2 ZnO薄膜表征 | 第109-110页 |
| 6.3 器件表征及紫外传感结果与讨论 | 第110-115页 |
| 6.3.1 器件射频特性表征 | 第110-111页 |
| 6.3.2 器件紫外传感 | 第111-115页 |
| 6.4 器件的温度特性及稳定性 | 第115-116页 |
| 6.5 本章小结 | 第116-117页 |
| 相关成果发表于 | 第117-118页 |
| 第7章 总结与展望 | 第118-122页 |
| 7.1 论文主要内容 | 第118-120页 |
| 7.2 论文主要创新点 | 第120页 |
| 7.3 论文不足之处和未来工作展望 | 第120-122页 |
| 参考文献 | 第122-136页 |
| 作者简介及在校期间取得的科研成果 | 第136-138页 |