| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第11-13页 |
| 缩略语对照表 | 第13-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-22页 |
| 1.1 等离子体及其应用概述 | 第16-18页 |
| 1.2 等离子体诊断的主要方法 | 第18页 |
| 1.3 静电探针诊断的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.4 本文工作的内容和意义 | 第20-22页 |
| 1.4.1 本文工作的主要内容 | 第20-21页 |
| 1.4.2 本文工作的意义 | 第21-22页 |
| 第二章 等离子体的基本参数及诊断原理 | 第22-44页 |
| 2.1 等离子体的基本性质及参数 | 第22-27页 |
| 2.1.1 等离子体的基本性质 | 第22-25页 |
| 2.1.2 等离子体的基本参数 | 第25-27页 |
| 2.2 静电探针诊断原理 | 第27-41页 |
| 2.2.1 静电探针的特点 | 第27-28页 |
| 2.2.2 静电探针的结构 | 第28-30页 |
| 2.2.3 静电单探针原理 | 第30-35页 |
| 2.2.4 静电双探针原理 | 第35-40页 |
| 2.2.5 影响探针特性曲线的因素 | 第40-41页 |
| 2.3 其他诊断方法原理简介 | 第41-42页 |
| 2.3.1 微波干涉法 | 第41-42页 |
| 2.3.2 光谱分析法 | 第42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第三章 低频放电等离子体中静电探针特性分析 | 第44-54页 |
| 3.1 低频放电装置的干扰模型 | 第44-45页 |
| 3.2 低频放电对单探针特性影响分析 | 第45-47页 |
| 3.3 低频放电对双探针特性影响分析 | 第47-52页 |
| 3.4 低频放电等离子体中静电探针的抗干扰措施 | 第52-53页 |
| 3.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 低频放电等离子体静电双探针诊断系统设计与实现 | 第54-68页 |
| 4.1 低频静电探针系统框图 | 第54-55页 |
| 4.2 双探针及探针支架设计 | 第55-56页 |
| 4.3 硬件系统全隔离设计 | 第56-61页 |
| 4.3.1 隔离电源电路设计 | 第56-57页 |
| 4.3.2 状态切换电路设计 | 第57-58页 |
| 4.3.3 隔离通信电路设计 | 第58-59页 |
| 4.3.4 高压输出电路设计 | 第59-61页 |
| 4.3.5 其他电路设计 | 第61页 |
| 4.4 低频阻断器设计 | 第61-64页 |
| 4.5 系统软件部分 | 第64-67页 |
| 4.5.1 软件流程 | 第64-65页 |
| 4.5.2 系统操作界面 | 第65-67页 |
| 4.6 低频静电探针系统 | 第67页 |
| 4.7 本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 低频放电等离子体静电双探针诊断系统测试 | 第68-74页 |
| 5.1 实验配置 | 第68-70页 |
| 5.1.1 待测等离子装置 | 第68页 |
| 5.1.2 实验参数 | 第68-70页 |
| 5.2 数据采集及数据分析实例 | 第70-73页 |
| 5.2.1 获取等离子体Ⅰ-Ⅴ特性曲线 | 第70-72页 |
| 5.2.2 诊断结果与微波干涉法结果对比 | 第72-73页 |
| 5.3 本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 6.1 工作总结 | 第74页 |
| 6.2 展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 致谢 | 第80-82页 |
| 作者简介 | 第82页 |