| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-27页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·纳米多层膜体系 | 第13-15页 |
| ·金属-金属体系 | 第13-14页 |
| ·陶瓷\金属体系 | 第14-15页 |
| ·纳米多层膜的生长 | 第15-19页 |
| ·薄膜的外延特性 | 第16-18页 |
| ·纳米多层膜的外延极限 | 第18-19页 |
| ·纳米多层膜的热稳定性 | 第19-23页 |
| ·互扩散 | 第19-20页 |
| ·相结构的变化 | 第20-22页 |
| ·氧化 | 第22-23页 |
| ·过渡金属氮化物多层膜 | 第23-24页 |
| ·过渡金属氮化物 | 第23页 |
| ·过渡金属氮化物多层膜 | 第23页 |
| ·AlN/氮化物纳米多层膜 | 第23-24页 |
| ·纳米多层膜的发展现状 | 第24页 |
| ·选题依据和研究内容 | 第24-27页 |
| 第2章 样品的制备、表征及热处理 | 第27-35页 |
| ·样品的制备 | 第27-29页 |
| ·磁控溅射原理 | 第27-28页 |
| ·薄膜的生长 | 第28页 |
| ·实验装置 | 第28-29页 |
| ·薄膜制备 | 第29页 |
| ·样品的表征 | 第29-33页 |
| ·结构表征 | 第29-31页 |
| ·性能表征 | 第31-33页 |
| ·热处理 | 第33-35页 |
| ·热处理装置 | 第33页 |
| ·热处理实验 | 第33-35页 |
| 第3章 改变氮气流量对TaN薄膜微观结构和抗氧化性的影响 | 第35-49页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·实验参数 | 第35-37页 |
| ·不同氮气流量对TaN膜的微观结构及力学性能的影响 | 第37-46页 |
| ·沉积速率和微观结构 | 第37-39页 |
| ·摩擦磨损和硬度 | 第39-46页 |
| ·不同氮气流量下溅射沉积的TaN膜的热稳定性 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第4章 改变AlN层厚度对TaN\AlN多层膜结构及性能的影响 | 第49-64页 |
| ·引言 | 第49-50页 |
| ·实验参数 | 第50-51页 |
| ·TaN\AlN多层膜的微观结构 | 第51-56页 |
| ·薄膜的调制结构 | 第51-52页 |
| ·薄膜的相结构 | 第52-56页 |
| ·TaN\AlN多层膜的热稳定性 | 第56-62页 |
| ·调制结构及相结构稳定性 | 第56-59页 |
| ·力学性能稳定性 | 第59-60页 |
| ·抗氧化性 | 第60-62页 |
| ·小结 | 第62-64页 |
| 第5章 全文总结 | 第64-66页 |
| 参考文献 | 第66-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
