基于介观压光效应的微机械陀螺设计与研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-15页 |
| ·国外研究现状 | 第10-13页 |
| ·国内研究现状 | 第13-15页 |
| ·论文主要研究内容及章节安排 | 第15-17页 |
| 第2章 光子晶体及介观压光效应 | 第17-28页 |
| ·光子晶体 | 第17-23页 |
| ·光子晶体的结构及特性 | 第18-20页 |
| ·光子晶体的研究方法 | 第20-23页 |
| ·介观压光效应 | 第23-24页 |
| ·镜像三周期一维光子晶体介观压光效应 | 第24-27页 |
| ·光子晶体光学特性 | 第24-26页 |
| ·光子晶体介观压光系数 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 微机械陀螺原理 | 第28-37页 |
| ·微陀螺中的柯氏效应 | 第28-30页 |
| ·微陀螺动力学方程 | 第30-33页 |
| ·微陀螺驱动及检测方案 | 第33-35页 |
| ·微陀螺静电驱动方案 | 第33-35页 |
| ·微陀螺介观压光检测方案 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 介观压光微陀螺结构设计 | 第37-60页 |
| ·微陀螺结构设计 | 第37-40页 |
| ·微陀螺结构模型 | 第37-38页 |
| ·微陀螺结构参数 | 第38-40页 |
| ·微陀螺结构优化 | 第40-42页 |
| ·微陀螺动态特性分析 | 第42-45页 |
| ·模态分析 | 第42-44页 |
| ·谐响应分析 | 第44-45页 |
| ·微陀螺阻尼分析 | 第45-57页 |
| ·滑膜阻尼 | 第46-48页 |
| ·压膜阻尼 | 第48-50页 |
| ·驱动方向阻尼分析 | 第50-52页 |
| ·检测方向阻尼分析 | 第52-56页 |
| ·微陀螺系统阻尼分析 | 第56-57页 |
| ·微陀螺性能分析 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 第5章 介观压光微陀螺工艺设计 | 第60-66页 |
| ·工艺流程设计 | 第60-61页 |
| ·版图设计 | 第61-64页 |
| ·工艺仿真 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第6章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及取得的研究成果 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
