非接触式光学自由曲面原位测量方法的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·光学自由曲面的发展概述 | 第8-11页 |
| ·光学自由曲面的概念简介 | 第8-9页 |
| ·光学自由曲面元件的超精密加工现状 | 第9-11页 |
| ·超精密测量技术发展综述 | 第11-17页 |
| ·测量方法的发展 | 第11-15页 |
| ·原位测量研究现状 | 第15-17页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 聚焦式激光测头开发 | 第18-33页 |
| ·测头设计的基本原理 | 第18-20页 |
| ·测头系统设计 | 第20-32页 |
| ·光路设计 | 第21-24页 |
| ·光电转化元件 | 第24-25页 |
| ·信号调理系统 | 第25-30页 |
| ·信号采集软件模块 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 原位测量关键技术 | 第33-45页 |
| ·原位测量方法 | 第33-34页 |
| ·测量路径设计 | 第34-36页 |
| ·大曲率曲面测量策略 | 第36-38页 |
| ·系统对正调试 | 第38-41页 |
| ·测量系统软件设计 | 第41-44页 |
| ·PMAC 位置坐标获取 | 第42-43页 |
| ·面形误差数据获取 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 原位测量实验及验证 | 第45-59页 |
| ·测量系统搭建 | 第45-46页 |
| ·测量系统标定 | 第46-51页 |
| ·线性曲线标定与验证 | 第46-50页 |
| ·系统稳定性验证 | 第50-51页 |
| ·平面测量实验 | 第51-53页 |
| ·大曲率器件----标准球测量实验 | 第53-56页 |
| ·光学自由曲面原位测量实验 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结和展望 | 第59-61页 |
| ·本文总结 | 第59页 |
| ·展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-65页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
