| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-20页 |
| ·课题背景和意义 | 第9页 |
| ·国内外研究现状 | 第9-18页 |
| ·微梁生化检测技术的研究现状 | 第9-14页 |
| ·集成光栅干涉微位移测量方法的研究现状 | 第14-18页 |
| ·论文研究目标和主要任务 | 第18-20页 |
| ·论文研究目标 | 第18-19页 |
| ·论文研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 集成双光栅干涉微位移测量的光学理论基础及设计 | 第20-40页 |
| ·集成双光栅干涉位移测量基本原理 | 第20-24页 |
| ·集成光栅干涉位移测量原理 | 第20-23页 |
| ·基本原理 | 第20-21页 |
| ·基于标量衍射理论的矩形槽光栅模型 | 第21-23页 |
| ·集成双光栅干涉位移测量原理 | 第23-24页 |
| ·基于矢量衍射理论的仿真及分析 | 第24-34页 |
| ·集成光栅输出光强的计算 | 第25-28页 |
| ·输出光强的余弦拟合及分析 | 第28-31页 |
| ·间距和占空比的影响 | 第31-34页 |
| ·集成双光栅的参数选择与扩量程位移的计算流程 | 第34-39页 |
| ·参数选择 | 第34-35页 |
| ·集成双光栅扩量程位移的计算流程 | 第35-37页 |
| ·仿真 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 第3章 集成双光栅表面应力敏感微梁的设计 | 第40-59页 |
| ·集成双光栅表面应力敏感微梁的工作原理 | 第40-41页 |
| ·表面应力敏感微梁的力学理论分析 | 第41-46页 |
| ·微梁结构及静态特性分析 | 第41-45页 |
| ·动态特性分析 | 第45-46页 |
| ·微梁的结构设计及仿真 | 第46-54页 |
| ·结构设计 | 第46-49页 |
| ·结构的有限元仿真 | 第49-54页 |
| ·有限元模型 | 第49-50页 |
| ·支撑梁结构尺寸对灵敏度的影响 | 第50-52页 |
| ·模态分析 | 第52-53页 |
| ·敏感层长度的优化设计 | 第53-54页 |
| ·灵敏度分析及补偿结构设计 | 第54-58页 |
| ·灵敏度分析 | 第54-56页 |
| ·补偿结构设计 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 微梁阵列敏感芯片的制作 | 第59-84页 |
| ·铝梁阵列加工工艺 | 第59-62页 |
| ·工艺流程设计 | 第59-60页 |
| ·加工结果与分析 | 第60-62页 |
| ·聚酰亚胺微梁阵列加工工艺 | 第62-83页 |
| ·工艺设计 | 第62-63页 |
| ·关键工艺 | 第63-71页 |
| ·基底上刻蚀凹槽的深度控制 | 第64页 |
| ·玻璃浅槽上的剥离工艺 | 第64-68页 |
| ·淀积金属牺牲层 | 第68-70页 |
| ·表面牺牲层结构释放 | 第70-71页 |
| ·夹心反射面结构的加工 | 第71-78页 |
| ·夹心反射面结构的工艺流程 | 第71-72页 |
| ·夹心反射面结构的流片结果 | 第72-78页 |
| ·单层聚酰亚胺结构的加工 | 第78-83页 |
| ·单层聚酰亚胺结构的工艺流程 | 第78-80页 |
| ·单层聚酰亚胺结构的流片结果 | 第80-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第5章 集成双光栅微梁测试实验 | 第84-109页 |
| ·实验装置 | 第84-91页 |
| ·实验装置的构成 | 第84页 |
| ·光路系统 | 第84-87页 |
| ·图像处理方法 | 第87-89页 |
| ·微流体系统 | 第89-91页 |
| ·测试系统的噪声测试及分析 | 第91-99页 |
| ·CCD 的噪声测试 | 第91-92页 |
| ·扩束激光的噪声测试 | 第92-95页 |
| ·检测系统整体噪声测试 | 第95-99页 |
| ·微梁位移测试实验 | 第99-106页 |
| ·铝梁位移测试实验 | 第99-103页 |
| ·聚酰亚胺结构位移测试实验 | 第103-106页 |
| ·免疫反应初步实验 | 第106-108页 |
| ·芯片制备及实验方法 | 第107页 |
| ·免疫反应初步实验 | 第107-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 第6章 结论及展望 | 第109-112页 |
| ·论文的主要工作及结论 | 第109-110页 |
| ·主要贡献和创新点 | 第110页 |
| ·问题与展望 | 第110-112页 |
| 参考文献 | 第112-117页 |
| 致谢 | 第117-119页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第119-120页 |