| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-23页 |
| ·透明导电氧化物薄膜概述 | 第11-14页 |
| ·AZO薄膜的结构与光电特性 | 第14-16页 |
| ·结构特性 | 第14-15页 |
| ·光学特性 | 第15页 |
| ·电学特性 | 第15-16页 |
| ·绒面AZO薄膜在薄膜太阳能电池中的应用 | 第16-19页 |
| ·本论文的研究目的和研究内容 | 第19-20页 |
| 参考文献 | 第20-23页 |
| 第二章 绒面AZO薄膜的制备与表征方法 | 第23-36页 |
| ·绒面AZO薄膜的制备方法 | 第23-30页 |
| ·平面AZO薄膜的制备方法 | 第23-27页 |
| ·AZO薄膜绒面结构的获得 | 第27-30页 |
| ·绒面AZO薄膜的表征方法 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33页 |
| 参考文献 | 第33-36页 |
| 第三章 平面AZO薄膜的制备与光电特性研究 | 第36-62页 |
| ·不同衬底温度条件下制备的AZO薄膜的特性研究 | 第36-41页 |
| ·结构特性 | 第36-38页 |
| ·光电特性 | 第38-41页 |
| ·不同Ar流量条件下制备的AZO薄膜的特性研究 | 第41-45页 |
| ·结构特性 | 第41-42页 |
| ·光电特性 | 第42-45页 |
| ·不同工作气压条件下制备的AZO薄膜的特性研究 | 第45-48页 |
| ·结构特性 | 第45-46页 |
| ·光电特性 | 第46-48页 |
| ·不同退火温度条件下制备的AZO薄膜的特性研究 | 第48-52页 |
| ·结构特性 | 第49-50页 |
| ·光电特性 | 第50-52页 |
| ·不同厚度AZO薄膜的特性研究 | 第52-58页 |
| ·结构特性和表面形貌 | 第52-56页 |
| ·光电特性 | 第56-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 第四章 绒面AZO薄膜的制备与光电特性研究 | 第62-99页 |
| ·不同沉积条件下制备的绒面AZO薄膜的特性研究 | 第62-77页 |
| ·衬底温度 | 第62-67页 |
| ·Ar流量 | 第67-72页 |
| ·工作气压 | 第72-77页 |
| ·不同腐蚀条件下制备的绒面AZO薄膜的特性研究 | 第77-89页 |
| ·腐蚀时间 | 第78-84页 |
| ·腐蚀浓度 | 第84-88页 |
| ·腐蚀温度 | 第88-89页 |
| ·绒面AZO薄膜的形成机理及修正Thornton模型的补充 | 第89-95页 |
| ·AZO薄膜绒面结构的形成机理分析 | 第89-93页 |
| ·修正Thornton模型的补充 | 第93-95页 |
| ·本章小结 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-99页 |
| 第五章 腐蚀后再沉积法制备绒面AZO薄膜的陷光能力研究 | 第99-114页 |
| ·制备方法 | 第99-101页 |
| ·表面形貌研究 | 第101-106页 |
| ·陷光能力研究 | 第106-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 参考文献 | 第113-114页 |
| 结论 | 第114-116页 |
| 本论文创新点 | 第116-117页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118页 |