| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-11页 |
| ·射频激励C0_2 激光器的发展概况 | 第8-9页 |
| ·射频电源的发展概况 | 第9-10页 |
| ·课题的研究目的、意义与内容 | 第10-11页 |
| 2 射频电源设计的相关理论 | 第11-19页 |
| ·射频气体放电有关理论 | 第11-15页 |
| ·射频电源设计中的重要概念 | 第15-17页 |
| ·射频电源设计的相关技术参数 | 第17页 |
| ·本章小结 | 第17-19页 |
| 3 射频电源的设计与仿真 | 第19-41页 |
| ·自激式射频电源的设计 | 第20-29页 |
| ·它激式射频电源的仿真设计 | 第29-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 射频电源制板及实验结果 | 第41-50页 |
| ·元器件的选择 | 第41-43页 |
| ·自激式射频电源PCB 电路板的设计 | 第43-44页 |
| ·实验结果和结论 | 第44-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 5 全文总结和展望 | 第50-51页 |
| ·全文总结 | 第50页 |
| ·未来展望 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |