微细电铸过程磁致对流效应数值分析
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-25页 |
| ·微机电系统与微细加工技术 | 第12-15页 |
| ·微机电系统和金属微细结构与零件 | 第12-13页 |
| ·金属微细加工技术 | 第13-15页 |
| ·微细电铸技术 | 第15-21页 |
| ·微细电铸的原理和特点 | 第15-17页 |
| ·微细电铸的应用及存在的主要问题 | 第17-18页 |
| ·传质受限机制 | 第18-19页 |
| ·传质受限的解决措施 | 第19-21页 |
| ·磁场作用下的电铸技术 | 第21-23页 |
| ·磁电沉积 | 第21-22页 |
| ·磁流体力学效应 | 第22-23页 |
| ·本文研究意义 | 第23-24页 |
| ·本文研究主要创新点 | 第24-25页 |
| 第二章 微细电铸液相传质基础理论 | 第25-30页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·电化学沉积 | 第25-26页 |
| ·液相传质 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 微细电铸液相传质数值分析 | 第30-39页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·计算流体力学软件FLUENT | 第30页 |
| ·物理模型 | 第30-31页 |
| ·数学模型 | 第31-33页 |
| ·数值求解 | 第33-34页 |
| ·仿真网格模型 | 第33-34页 |
| ·基本假设和边界条件 | 第34页 |
| ·结果分析 | 第34-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 磁场条件下电铸过程液相传质数值分析 | 第39-57页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·控制方程 | 第39-42页 |
| ·数值求解 | 第42页 |
| ·仿真结果及讨论 | 第42-56页 |
| ·外加磁场条件下微孔内流场状态 | 第43-46页 |
| ·磁场大小对微孔内溶液流场状态的影响 | 第46-50页 |
| ·电流大小对微孔内溶液流场状态的影响 | 第50-52页 |
| ·电导率对微孔液内溶液流场状态的影响 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 磁场条件下微细电铸液相传质实验研究 | 第57-67页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·微流体观测与演示技术 | 第57-58页 |
| ·实验方案 | 第58页 |
| ·试验装置的研制? | 第58-62页 |
| ·酸性硫酸铜电铸液? | 第62页 |
| ·结果与分析? | 第62-66页 |
| ·孔内流场状态 | 第62-65页 |
| ·电流密度对溶液运动速度的影响 | 第65页 |
| ·磁场强度对溶液运动速度的影响 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 结论与展望 | 第67-69页 |
| ·结论 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 作者简历 | 第72-73页 |
| 学位论文数据集 | 第73页 |
