| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·甲醛检测论文的研究意义 | 第9-10页 |
| ·甲醛基本性质 | 第9页 |
| ·甲醛的广泛存在性 | 第9页 |
| ·甲醛的危害性 | 第9-10页 |
| ·气敏传感器简介 | 第10-14页 |
| ·甲醛气敏传感器的分类 | 第10-13页 |
| ·导体薄膜型气敏传感器的发展趋势 | 第13-14页 |
| ·ZnO 半导体材料简介 | 第14-15页 |
| ·ZnO 物理性质及简介 | 第14-15页 |
| ·ZnO 的晶体结构 | 第15页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第15-16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第2章 ZnO 基纳米材料制备与表征 | 第17-29页 |
| ·物理方法 | 第18-19页 |
| ·溅射法 | 第18页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第18-19页 |
| ·化学方法 | 第19-21页 |
| ·溶胶凝胶法(sol—gel) | 第19-20页 |
| ·化学气相沉积法(CVD) | 第20页 |
| ·化学沉淀法 | 第20-21页 |
| ·水热合成法 | 第21页 |
| ·本论文中 ZnO 基材料的制备方法与表征 | 第21-27页 |
| ·ZnO 纳米颗粒的制备与表征 | 第21-23页 |
| ·ZnO+CdO 纳米结构的制备与表征 | 第23-25页 |
| ·ZnO+CdS 纳米结构的制备与表征 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 第3章 传感器设计思路与制备过程 | 第29-41页 |
| ·紫外光激励 | 第29-33页 |
| ·传统金属氧化物半导体气敏传感器工作机理 | 第30-31页 |
| ·紫外光激励下的金属氧化物半导体气敏传感器工作机理 | 第31-33页 |
| ·氧化锌进行氧化物修饰 | 第33-35页 |
| ·异质结构的构建机理 | 第34页 |
| ·传感器异质结构的制备 | 第34-35页 |
| ·传感器电极的设计 | 第35-37页 |
| ·叉指电极简介 | 第35-36页 |
| ·叉指电极制备 | 第36页 |
| ·传感器气敏器件的制备 | 第36-37页 |
| ·甲醛气敏测试系统 | 第37-40页 |
| ·HCHO 产生 | 第37-38页 |
| ·传感器件 | 第38-39页 |
| ·信号测试电流测量 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 ZnO 基甲醛传感器的性能测试与分析 | 第41-69页 |
| ·ZnO 纳米颗粒 | 第41-48页 |
| ·紫外光激励 | 第42-44页 |
| ·敏感器件的湿敏特性 | 第44-46页 |
| ·敏感器件的甲醛气敏特性 | 第46-48页 |
| ·ZnO+CdO 纳米结构 | 第48-54页 |
| ·紫外光激励 | 第49-51页 |
| ·敏感器件的湿敏特性 | 第51-52页 |
| ·敏感器件的甲醛气敏特性 | 第52-54页 |
| ·ZnO+CdS 纳米结构 | 第54-61页 |
| ·紫外光激励 | 第56-57页 |
| ·敏感器件的湿敏特性 | 第57-59页 |
| ·敏感器件的甲醛气敏特性 | 第59-61页 |
| ·氧化锌基气敏材料性能比较 | 第61-64页 |
| ·紫外光激励性能比较 | 第61-62页 |
| ·敏感器件的湿敏性能比较 | 第62页 |
| ·敏感器件的甲醛气敏性能比较 | 第62-63页 |
| ·氧化锌基气敏材料性能总结 | 第63-64页 |
| ·ZnO+CdS 气敏材料性能分析 | 第64-68页 |
| ·气敏传感器的选择性 | 第64-65页 |
| ·气敏传感器的灵敏度 | 第65-67页 |
| ·气敏传感器的重复性 | 第67页 |
| ·气敏传感器的响应时间 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 附录 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |