| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·微机电系统 | 第12-13页 |
| ·微纳加工技术 | 第13-17页 |
| ·光刻技术 | 第13-15页 |
| ·LIGA 技术 | 第15-16页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第16-17页 |
| ·微位移系统 | 第17-19页 |
| ·约束刻蚀剂层技术 | 第19-21页 |
| ·本文的研究内容与章节安排 | 第21-23页 |
| ·本文的研究内容 | 第21-22页 |
| ·本文的章节安排 | 第22-23页 |
| 第二章 约束刻蚀剂层微纳加工仪器的系统设计 | 第23-42页 |
| ·仪器的总体设计 | 第23-24页 |
| ·大理石桥架的设计 | 第24-27页 |
| ·桥架材料的选取 | 第24页 |
| ·桥架结构的设计 | 第24-27页 |
| ·宏微运动平台的设计 | 第27-34页 |
| ·宏动平台的设计 | 第27-29页 |
| ·微动平台的设计 | 第29-34页 |
| ·加工监测系统的设计 | 第34-37页 |
| ·微力检测模块 | 第35-36页 |
| ·机器视觉模块 | 第36-37页 |
| ·仪器的控制系统 | 第37-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第三章 约束刻蚀剂层微纳加工仪器的精密定位研究 | 第42-62页 |
| ·宏动平台精密定位控制研究 | 第42-43页 |
| ·微动平台的精密定位控制研究 | 第43-60页 |
| ·逆模型控制 | 第44-54页 |
| ·PID 控制 | 第54-57页 |
| ·PID+前馈控制 | 第57-58页 |
| ·控制效果对比实验 | 第58-60页 |
| ·精密定位实验 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 约束刻蚀剂层微纳加工仪器的快速零点检测研究 | 第62-70页 |
| ·视觉力觉引导的快速逼近控制 | 第62-64页 |
| ·基于数字锁相放大器的零点检测技术 | 第64-68页 |
| ·零点检测的基本过程 | 第65页 |
| ·锁相放大器的基本原理 | 第65-67页 |
| ·基于数字锁相放大器的状态监测 | 第67-68页 |
| ·快速零点检测实验 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 约束刻蚀剂层微纳加工实验 | 第70-76页 |
| ·微透镜阵列元件的约束刻蚀剂层微纳加工实验 | 第70-74页 |
| ·模板与基底 | 第70-71页 |
| ·GaAs 的刻蚀体系 | 第71-72页 |
| ·平行度的调整 | 第72-73页 |
| ·加工实验 | 第73-74页 |
| ·实验结果分析 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第六章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·全文总结 | 第76页 |
| ·后续工作展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间所发表的论文 | 第84页 |