| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-36页 |
| ·薄膜材料的制备方法 | 第10-14页 |
| ·真空蒸镀法 | 第10-11页 |
| ·溅射镀膜法 | 第11-12页 |
| ·激光脉冲沉积法 | 第12页 |
| ·分子束外延法 | 第12-13页 |
| ·化学气相沉积法 | 第13页 |
| ·电沉积法 | 第13页 |
| ·溶胶—凝胶法 | 第13-14页 |
| ·金属薄膜材料的力学性能测试方法 | 第14-18页 |
| ·单轴拉伸测试 | 第14-16页 |
| ·纳米压痕法 | 第16-17页 |
| ·鼓泡法 | 第17-18页 |
| ·纳米晶材料力学性能 | 第18-27页 |
| ·纳米晶材料强度的尺寸效应 | 第19-21页 |
| ·纳米晶材料延展性的尺寸效应 | 第21-24页 |
| ·高强度高延性纳米晶材料的制备 | 第24-27页 |
| ·本论文工作的意义、目的和内容 | 第27-29页 |
| 参考文献 | 第29-36页 |
| 第二章 实验方法 | 第36-45页 |
| ·金属薄膜的制备 | 第36-38页 |
| ·金属薄膜的微结构分析方法 | 第38-42页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第38页 |
| ·透射电子显微镜 | 第38-39页 |
| ·X射线衍射分析 | 第39-40页 |
| ·聚焦离子束 | 第40-41页 |
| ·四探针测电阻法 | 第41-42页 |
| ·金属薄膜的力学性能的测试方法 | 第42-44页 |
| ·金属薄膜屈服强度和弹性模量的测试方法 | 第42页 |
| ·金属薄膜延展性的测试方法 | 第42-44页 |
| 参考文献 | 第44-45页 |
| 第三章 纳米晶金属Cu膜延展性的尺寸效应和应变速率敏感性 | 第45-65页 |
| ·厚度对纳米晶金属Cu膜延展性的影响 | 第45-55页 |
| ·纳米晶金属Cu膜的制备 | 第45-46页 |
| ·纳米晶金属Cu膜的结构表征 | 第46-48页 |
| ·附着在PI上的纳米晶金属Cu膜的延展性 | 第48-50页 |
| ·影响纳米晶金属Cu膜的延展性的主要因素 | 第50-54页 |
| ·本节小结 | 第54-55页 |
| ·应变速率对纳米晶金属Cu膜延展性的影响 | 第55-63页 |
| ·纳米晶金属Cu膜的制备 | 第55-56页 |
| ·纳米晶金属Cu膜在不同应变速率下的拉伸测试 | 第56页 |
| ·纳米晶金属Cu膜的结构表征 | 第56页 |
| ·纳米晶金属Cu膜延展性的应变速率敏感性 | 第56-61页 |
| ·本节小结 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-65页 |
| 第四章 温度和尺寸对纳米晶金属Cu膜力学性能的影响 | 第65-90页 |
| ·工作温度对纳米晶金属Cu膜力学性能的影响 | 第65-76页 |
| ·纳米晶金属Cu膜的制备 | 第65-66页 |
| ·不同工作温度下纳米晶金属Cu膜的拉伸测试 | 第66页 |
| ·纳米晶金属Cu膜的结构表征 | 第66-67页 |
| ·纳米晶金属Cu膜在不同工作温度下的延展性 | 第67-73页 |
| ·不同工作温度下影响金属Cu膜的延展性的主要因素 | 第73-75页 |
| ·本节小结 | 第75-76页 |
| ·退火温度对纳米晶金属Cu膜力学性能的影响 | 第76-87页 |
| ·纳米晶金属Cu膜的制备 | 第76-77页 |
| ·不同退火温度处理的纳米晶金属Cu膜的室温拉伸测试 | 第77页 |
| ·纳米晶金属Cu膜的结构表征 | 第77-79页 |
| ·不同退火温度处理下纳米晶金属Cu膜的延展性 | 第79-81页 |
| ·退火处理对膜基系统的结构与性能影响 | 第81-86页 |
| ·退火处理对纳米晶金属Cu膜残余应力σ_r与晶粒大小的影响 | 第81-82页 |
| ·退火处理对纳米晶金属Cu膜断裂性能的影响 | 第82页 |
| ·退火处理对纳米晶金属Cu膜的饱和裂纹间距S_(sat)的影响 | 第82-84页 |
| ·退火处理对纳米晶金属Cu膜的界面结构的影响 | 第84-85页 |
| ·断裂机理 | 第85-86页 |
| ·本节小结 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-90页 |
| 第五章 多层膜力学性能的尺寸效应和新型多层膜的设计 | 第90-113页 |
| ·Cu/Ru金属多层膜力学性能的尺寸效应 | 第90-103页 |
| ·Cu/Ru金属多层膜的制备 | 第90-91页 |
| ·金属Cu/Ru膜的结构表征 | 第91-93页 |
| ·Cu/Ru金属膜屈服强度(σ_f)的尺寸效应 | 第93-97页 |
| ·Cu/Ru金属多层膜延展性的尺寸效应 | 第97-99页 |
| ·Cu/Ru金属多层膜的断裂韧性的尺寸效应 | 第99-102页 |
| ·本节小结 | 第102-103页 |
| ·高强度高延性Cu/Ta多层膜的结构设计 | 第103-111页 |
| ·Cu/Ta金属多层膜的制备 | 第103-104页 |
| ·Cu/Ta金属膜力学性能表征 | 第104-108页 |
| ·GITFs型Cu/Ta金属多层膜高延性的机制 | 第108-110页 |
| ·本节小结 | 第110-111页 |
| 参考文献 | 第111-113页 |
| 第六章 结论和展望 | 第113-116页 |
| ·结论 | 第113-114页 |
| ·工作展望 | 第114-116页 |
| 攻读博士学位期间发表论文与研究成果 | 第116-118页 |
| Ⅰ 已发表和待发表论文 | 第116-117页 |
| Ⅱ 申请专利 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118-120页 |
