碳基材料表面复合涂层及性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·PFMs的性能要求 | 第10页 |
| ·PFMs材料 | 第10-12页 |
| ·铍 | 第11页 |
| ·碳基材料 | 第11-12页 |
| ·钨 | 第12页 |
| ·钨涂层制备工艺 | 第12-16页 |
| ·熔盐电镀 | 第12-13页 |
| ·热喷涂 | 第13-15页 |
| ·化学气相沉积 | 第15页 |
| ·物理气相沉积 | 第15-16页 |
| ·铼涂层的制备技术 | 第16-18页 |
| ·电化学沉积法 | 第17页 |
| ·电子束物理气相沉积法 | 第17页 |
| ·CVD | 第17-18页 |
| ·课题提出及研究内容 | 第18-20页 |
| ·课题提出及意义 | 第18-19页 |
| ·研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 实验方法、设备及测试方法 | 第20-28页 |
| ·辉光等离子渗金属技术基本概念及原理 | 第20-23页 |
| ·辉光放电 | 第20-21页 |
| ·阴极溅射 | 第21页 |
| ·不等电位空心阴极放电 | 第21-22页 |
| ·双层辉光等离子渗金属原理 | 第22-23页 |
| ·双层辉光等离子渗金属技术特点 | 第23页 |
| ·试验材料、实验设备及实验步骤 | 第23-25页 |
| ·试验材料 | 第23页 |
| ·实验设备 | 第23-24页 |
| ·制备方法 | 第24页 |
| ·温度测量 | 第24-25页 |
| ·性能检测 | 第25-28页 |
| ·表面和断面形貌分析 | 第25页 |
| ·EDS成分分析 | 第25-26页 |
| ·XRD相组成分析 | 第26页 |
| ·硬度检测 | 第26页 |
| ·划痕试验 | 第26-28页 |
| 第3章 双层辉光等离子渗铼及渗钨工艺研究 | 第28-48页 |
| ·源极及工件极结构研究 | 第28-30页 |
| ·石墨表面渗铼研究 | 第30-32页 |
| ·铼涂层显微结构 | 第30-31页 |
| ·铼涂层断面分析 | 第31页 |
| ·铼涂层结合力 | 第31-32页 |
| ·石墨表面制备铼/钨复合涂层研究 | 第32-44页 |
| ·工件极电压和源极电压的影响 | 第32-33页 |
| ·温度的影响 | 第33-39页 |
| ·源—阴极间距的影响 | 第39-40页 |
| ·气压的影响 | 第40-42页 |
| ·沉积时间的影响 | 第42-44页 |
| ·C/C复合材料表面渗铼和渗钨研究 | 第44-48页 |
| ·C/C复合材料表面渗铼 | 第44-46页 |
| ·铼金属化C/C复合材料表面渗钨 | 第46-47页 |
| ·结合强度 | 第47-48页 |
| 第4章 碳基材料表面铼钨扩散研究 | 第48-54页 |
| ·空位扩散 | 第48-50页 |
| ·半无限长扩散体模型计算扩散系数 | 第50-54页 |
| 第5章 结论与展望 | 第54-56页 |
| ·结论 | 第54页 |
| ·工作展望 | 第54-56页 |
| 参考文献 | 第56-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
