| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-21页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第10-11页 |
| ·原子力显微镜介绍 | 第11-15页 |
| ·AFM基本原理 | 第11-12页 |
| ·原子力显微镜成像模式 | 第12-13页 |
| ·AFM在纳米技术中的应用 | 第13-15页 |
| ·国内外研究现状与水平 | 第15-18页 |
| ·AFM微悬臂与驱动的建模研究 | 第15-16页 |
| ·AFM系统的控制方法 | 第16-17页 |
| ·AFM扫描研究 | 第17-18页 |
| ·本文主要任务及结构安排 | 第18-21页 |
| ·本文的主要任务 | 第18-19页 |
| ·本文结构安排 | 第19-21页 |
| 第二章 AFM微悬臂与驱动的建模 | 第21-34页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·AFM柔性微悬臂建模 | 第21-25页 |
| ·AFM柔性微悬臂的分布参数系统模型 | 第21-23页 |
| ·AFM微悬臂探针与样本之间的作用力 | 第23-25页 |
| ·AFM压电陶瓷驱动器建模分析 | 第25-28页 |
| ·AFM压电陶瓷特性 | 第25-27页 |
| ·AFM压电驱动器系统模型 | 第27-28页 |
| ·AFM微悬臂与驱动的整体模型 | 第28-30页 |
| ·微悬臂系统的低阶动力学近似模型 | 第30-33页 |
| ·变量分离的低阶动力学近似模型 | 第30-32页 |
| ·仿真分析 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 基于时空分离的AFM微悬臂模糊PID控制策略 | 第34-46页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·PID类型模糊控制器及其模型 | 第34-37页 |
| ·PID类型模糊控制器结构原理 | 第34-36页 |
| ·PID类型模糊控制器的PID控制特性 | 第36-37页 |
| ·基于时空分离AFM微悬臂的模糊控制策略 | 第37-40页 |
| ·基于时空分离AFM微悬臂的模糊控制策略 | 第37-38页 |
| ·模糊控制器设计 | 第38-40页 |
| ·仿真分析 | 第40-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 PID类型模糊控制器参数整定 | 第46-58页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·基于给定相角裕度的整定原理 | 第46-51页 |
| ·继电自整定方法原理 | 第46-47页 |
| ·继电整定的确定临界信息 | 第47-49页 |
| ·基于给定相角裕度的整定原理 | 第49-51页 |
| ·参数整定 | 第51-54页 |
| ·基于AFM时空分离的模糊控制器参数整定等效结构及其分析 | 第51-53页 |
| ·基于AFM时空分离的模糊PID控制器PM法参数整定 | 第53-54页 |
| ·仿真分析 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 实验 | 第58-75页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·AFM纳米平台控制系统 | 第58-63页 |
| ·AFM硬件系统简介 | 第58-61页 |
| ·控制系统软件简介 | 第61-63页 |
| ·基于时空分离与模糊PID控制的AFM快速扫描成像 | 第63-68页 |
| ·AFM扫描成像基本概念 | 第63-65页 |
| ·基于时空分离与模糊PID控制的AFM的变速扫描方法 | 第65-68页 |
| ·实验研究 | 第68-74页 |
| ·实验目的 | 第68页 |
| ·实验过程 | 第68-70页 |
| ·实验结果分析 | 第70-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 结论与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读硕士期间的主要研究成果 | 第84页 |
