| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 引言 | 第10-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·碳纳米管 | 第11-16页 |
| ·分子结构 | 第11-12页 |
| ·制备方法 | 第12-13页 |
| ·多元化应用 | 第13-16页 |
| ·水平定向的碳纳米管阵列 | 第16-20页 |
| ·基于碳纳米管的气体传感器 | 第20-22页 |
| ·研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 基底表面无催化剂条纹的水平定向单壁碳纳米管的制备 | 第23-33页 |
| ·实验方法 | 第23-25页 |
| ·仪器和试剂 | 第23-24页 |
| ·基底处理 | 第24-25页 |
| ·氯化铜催化剂溶液的制备 | 第25页 |
| ·基底表面无催化剂条纹的水平定向碳纳米管的生长 | 第25-29页 |
| ·基底表面无催化剂条纹的水平定向碳纳米管的表征 | 第29-32页 |
| ·生长机理 | 第32-33页 |
| 第3章 基于水平定向碳纳米管的气体传感器制作 | 第33-39页 |
| ·电离式气敏传感器的设计 | 第33-35页 |
| ·场效应式气敏传感器的设计及制作 | 第35-39页 |
| ·定向的单壁碳纳米管阵列的迁移 | 第35-36页 |
| ·紫外曝光 | 第36-37页 |
| ·电极沉积 | 第37页 |
| ·去胶 | 第37-39页 |
| 第4章 传感器的器件性能及苯气体的检测 | 第39-47页 |
| ·性能测试 | 第39-42页 |
| ·苯的检测 | 第42-47页 |
| 第5章 结论和研究工作展望 | 第47-48页 |
| ·结论 | 第47页 |
| ·研究工作展望 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-52页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及参加科研情况 | 第52-53页 |