采用磁控溅射法在钢材表面镀钛膜研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·钛及钛复合材料的性能 | 第10-13页 |
| ·物理性质 | 第10-11页 |
| ·耐腐蚀性 | 第11-12页 |
| ·生物相容性 | 第12页 |
| ·储氢性能 | 第12页 |
| ·机械性能 | 第12页 |
| ·钛复合材料性能 | 第12-13页 |
| ·钢材的应用 | 第13页 |
| ·钢材表面腐蚀问题及其处理方法 | 第13-16页 |
| ·钢铁腐蚀的种类 | 第14-15页 |
| ·钢材防腐的方法 | 第15-16页 |
| ·钢材表面镀钛技术研究现状 | 第16页 |
| ·真空镀钛膜技术 | 第16-19页 |
| ·真空蒸镀 | 第16-17页 |
| ·离子镀钛 | 第17-18页 |
| ·磁控溅射 | 第18-19页 |
| ·课题的目的和内容及技术路线 | 第19-20页 |
| ·研究目的及内容 | 第19页 |
| ·研究技术路线 | 第19-20页 |
| ·课题的研究意义 | 第20-21页 |
| 2 实验原理及工艺过程 | 第21-25页 |
| ·实验原理 | 第21-22页 |
| ·实验设备 | 第22-23页 |
| ·实验材料 | 第23页 |
| ·检测手段 | 第23-24页 |
| ·实验过程 | 第24-25页 |
| 3 不同工艺参数对钢钛复合材料结构及性能的影响 | 第25-46页 |
| ·沉积时间的影响 | 第25-29页 |
| ·沉积时间对沉积量影响 | 第25-26页 |
| ·沉积时间对钛膜形貌和结构的影响 | 第26-27页 |
| ·沉积时间对钛膜物相的影响 | 第27页 |
| ·沉积时间对钛膜腐蚀性的影响 | 第27-29页 |
| ·小结 | 第29页 |
| ·溅射功率的影响 | 第29-33页 |
| ·功率对钛膜沉积量的影响 | 第29-30页 |
| ·功率对钛膜形貌和结构的影响 | 第30页 |
| ·功率对钛膜物相的影响 | 第30-33页 |
| ·功率对钛膜腐蚀性的影响 | 第33页 |
| ·小结 | 第33页 |
| ·偏压的影响 | 第33-38页 |
| ·偏压对钛膜沉积量的影响 | 第34页 |
| ·偏压对钛膜形貌和结构的影响 | 第34-36页 |
| ·偏压对钛膜物相的影响 | 第36页 |
| ·偏压对钛膜耐腐蚀性的影响 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-38页 |
| ·真空度的影响 | 第38-41页 |
| ·真空度对钛膜沉积量的影响 | 第38-39页 |
| ·真空度对钛膜形貌和结构的影响 | 第39-40页 |
| ·真空度对钛耐腐蚀性的影响 | 第40-41页 |
| ·小结 | 第41页 |
| ·靶距的影响 | 第41-46页 |
| ·靶距对钛膜沉积量的影响 | 第41-43页 |
| ·靶距对钛膜形貌和结构的影响 | 第43-44页 |
| ·靶距对钛膜物相的影响 | 第44-45页 |
| ·靶距对钛耐腐蚀性的影响 | 第45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 4 钢钛复合材料的最优参数及耐腐蚀性能的研究 | 第46-53页 |
| ·最佳工艺参数 | 第46-47页 |
| ·电化学腐蚀 | 第47-50页 |
| ·实验原理 | 第47-48页 |
| ·实验方法 | 第48页 |
| ·实验结果及讨论 | 第48-50页 |
| ·静态浸泡腐蚀实验 | 第50-53页 |
| ·试验方法 | 第51页 |
| ·结果讨论 | 第51-53页 |
| 5 钢钛复合材料附着力研究 | 第53-56页 |
| ·实验材料 | 第53页 |
| ·实验方法 | 第53页 |
| ·结果与讨论 | 第53-56页 |
| 6 结论以及创新点 | 第56-57页 |
| ·结论 | 第56页 |
| ·创新点 | 第56-57页 |
| 7 展望以及存在的问题 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
