直管过滤阴极弧TiC不沾锡薄膜制备及耐磨性研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-24页 |
| ·课题背景及意义 | 第10页 |
| ·课题的研究现状 | 第10-17页 |
| ·不沾锡材料的研究现状 | 第10-13页 |
| ·真空阴极弧表面处理技术 | 第13-17页 |
| ·课题原理性分析 | 第17-23页 |
| ·工件的工作条件 | 第17页 |
| ·工件的表面性能要求 | 第17-18页 |
| ·工件的失效形式 | 第18-19页 |
| ·工件沾锡原因分析 | 第19-21页 |
| ·改性实验可行性分析 | 第21-23页 |
| ·本文主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第2章 实验设备及实验方法 | 第24-32页 |
| ·实验设备 | 第24-25页 |
| ·实验材料 | 第25页 |
| ·实验流程及工艺参数 | 第25-29页 |
| ·试样的预处理 | 第25-26页 |
| ·直管过滤阴极弧沉积富碳TiC薄膜工艺 | 第26-28页 |
| ·浸没式等离子注入C工艺 | 第28-29页 |
| ·性能检测 | 第29-32页 |
| ·膜层成分与组织形貌分析 | 第29页 |
| ·性能测试 | 第29-32页 |
| 第3章 TiC薄膜成分、形貌及不沾锡性能研究 | 第32-44页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·薄膜成分和结构 | 第32-33页 |
| ·表面形貌观测 | 第33-39页 |
| ·C_2H_2分压对膜层表面形貌的影响 | 第33-34页 |
| ·Ar分压对膜层表面形貌的影响 | 第34-35页 |
| ·负偏压对膜层表面形貌的影响 | 第35-37页 |
| ·电弧电流对膜层表面形貌的影响 | 第37-38页 |
| ·沉积时间对膜层表面形貌的影响 | 第38-39页 |
| ·抗沾锡性能测试 | 第39-43页 |
| ·沾锡表面形貌观测 | 第39-40页 |
| ·浸锡表面沾锡量测试 | 第40页 |
| ·表面润湿张力测试 | 第40-41页 |
| ·液态锡对表面接触角测试 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 TiC薄膜的机械性能及耐腐蚀性研究 | 第44-66页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·摩擦磨损性能测试 | 第44-53页 |
| ·C_2H_2分压对膜层耐磨性能的影响 | 第44-46页 |
| ·Ar分压对膜层耐磨性能的影响 | 第46-48页 |
| ·偏压对膜层耐磨性能的影响 | 第48-50页 |
| ·弧流对膜层耐磨性能的影响 | 第50-51页 |
| ·工作时间对膜层耐磨性能的影响 | 第51-53页 |
| ·硬度测试 | 第53-56页 |
| ·膜基结合力测试 | 第56-58页 |
| ·镀膜后膜基结合力测试 | 第56-57页 |
| ·热循环后膜基结合力测试 | 第57-58页 |
| ·电化学腐蚀性能测试 | 第58-60页 |
| ·复合处理后薄膜的性能及成分、结构分析 | 第60-65页 |
| ·摩擦磨损性能测试 | 第60-62页 |
| ·电化学腐蚀性能测试 | 第62页 |
| ·不沾锡性能测试 | 第62-63页 |
| ·成分及结构分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
