| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-12页 |
| ·纳米磁性薄膜的一般特性 | 第9页 |
| ·纳米磁性薄膜的主要应用领域 | 第9页 |
| ·FeCo基纳米磁性薄膜与铁氧体材料的比较及其研究进展 | 第9-10页 |
| ·本文的主要研究内容与意义 | 第10-12页 |
| 2 FeCoB基软磁薄膜的相关理论 | 第12-27页 |
| ·FeCoB基软磁薄膜中的面内各向异性 | 第12-18页 |
| ·FeCoB基磁性薄膜中的主要损耗 | 第18-20页 |
| ·FeCoB基磁谱曲线的模拟计算 | 第20-27页 |
| 3 磁性薄膜的制备及表征方法 | 第27-39页 |
| ·薄膜生长基本过程与射频磁控溅射基本原理 | 第27-29页 |
| ·磁控溅射仪以及薄膜制备过程的基本操作 | 第29-31页 |
| ·实验过程中遇到的典型问题及解决方法 | 第31-36页 |
| ·磁性薄膜的表征方法 | 第36-39页 |
| 4 FeCoB基磁性薄膜的制备工艺与电磁性能研究 | 第39-53页 |
| ·无感生磁各向异性FeCoB薄膜的工艺条件与高频性能研究 | 第40-44页 |
| ·FeCoB基磁性薄膜的工艺条件与电磁性能研究 | 第44-49页 |
| ·Ni元素对薄膜电磁性能的影响 | 第49-51页 |
| ·进一步提高薄膜性能的方法 | 第51-53页 |
| 5 总结 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第60页 |