| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-23页 |
| ·亚波长光栅背景 | 第12-13页 |
| ·亚波长光栅概述 | 第13-14页 |
| ·亚波长光栅应用 | 第14-17页 |
| ·亚波长光栅光探测器现状 | 第17-18页 |
| ·亚波长光栅加工工艺 | 第18-19页 |
| ·论文研究意义 | 第19页 |
| ·本论文的内容安排 | 第19-21页 |
| ·参考文献 | 第21-23页 |
| 第二章 新型亚波长光栅的理论研究 | 第23-58页 |
| ·理论方法概述 | 第23-26页 |
| ·严格耦合波分析法 | 第23页 |
| ·时域有限差分法 | 第23-24页 |
| ·平面波展开法 | 第24-26页 |
| ·一维SWG(1D-SWG)的设计与性能仿真 | 第26-46页 |
| ·基于RCWA的分析模型 | 第26-29页 |
| ·RCWA程序可靠性验证 | 第29-30页 |
| ·基于RCWA的1D-SWG性能仿真 | 第30-33页 |
| ·基于FDTD算法的分析模型 | 第33-41页 |
| ·基于FDTD的1D-SWG性能仿真 | 第41-46页 |
| ·二维SWG(2D-SWG)的设计与性能仿真 | 第46-56页 |
| ·基于RCWA的分析模型 | 第46-48页 |
| ·RCWA程序可靠性验证 | 第48-49页 |
| ·基于RCWA的2D-SWG性能仿真 | 第49-51页 |
| ·基于PWE的2D-SWG性能分析 | 第51-56页 |
| ·参考文献 | 第56-58页 |
| 第三章 WDM系统用亚波长光栅光探测器 | 第58-73页 |
| ·WDM技术的发展概况 | 第58-61页 |
| ·WDM系统中的光探测器 | 第61-62页 |
| ·SWG型通信光探测器 | 第62-71页 |
| ·传统RCE PD性能分析 | 第62-63页 |
| ·SWG型RCE PD性能分析 | 第63-71页 |
| ·参考文献 | 第71-73页 |
| 第四章 新型亚波长光栅的制备 | 第73-90页 |
| ·纳米加工工艺概述 | 第73页 |
| ·新型SWG工艺方案概述 | 第73-74页 |
| ·新型SWG光栅的实际制备 | 第74-88页 |
| ·SWG光刻版图设计及仿真分析 | 第74-77页 |
| ·SWG制备重要工艺步骤研究 | 第77-83页 |
| ·SWG制备实验结果与分析 | 第83-88页 |
| ·参考文献 | 第88-90页 |
| 第五章 亚波长光栅光探测器的制备工艺研究 | 第90-109页 |
| ·亚波长光栅光探测器版图设计 | 第90-92页 |
| ·亚波长光栅光探测器外延设计 | 第92-98页 |
| ·SWG与RCE PD外延片粘合 | 第98页 |
| ·探测器外延后工艺处理 | 第98-103页 |
| ·半导体纳米线测试 | 第103-107页 |
| ·参考文献 | 第107-109页 |
| 附录1 Courant稳定条件推导 | 第109-111页 |
| 附录2电磁场在光子晶体中满足的本征方程与本征函数 | 第111-117页 |
| 附录3 RCE PD的外延结构参数列表 | 第117-118页 |
| 附录4 SWG与RCE PD外延片粘合工艺步骤细节 | 第118-119页 |
| 致谢 | 第119-121页 |
| 作者攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第121-122页 |