| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-21页 |
| ·课题研究目的和意义 | 第10-11页 |
| ·电热效应的研究现状 | 第11-13页 |
| ·铁电制冷原理 | 第11-12页 |
| ·体相电热材料的研究现状 | 第12页 |
| ·薄膜电热材料的研究现状 | 第12-13页 |
| ·BZT 铁电材料 | 第13-17页 |
| ·铁电材料 | 第13-14页 |
| ·BZT 的晶体结构及特性 | 第14-15页 |
| ·BZT 铁电体的弛豫性 | 第15-16页 |
| ·BZT 的性能和应用 | 第16-17页 |
| ·铁电薄膜制备方法的研究现状 | 第17-20页 |
| ·脉冲激光薄膜沉积法 | 第17-18页 |
| ·化学气相沉积法 | 第18-19页 |
| ·溅射法 | 第19页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第19-20页 |
| ·主要研究内容 | 第20-21页 |
| 第2章 实验材料及测试方法 | 第21-25页 |
| ·实验原料及设备 | 第21-22页 |
| ·实验准备 | 第22-23页 |
| ·BZT 溶胶的制备 | 第22页 |
| ·BZT 薄膜的制备 | 第22-23页 |
| ·实验测试方法及设备 | 第23-25页 |
| ·BZT 粉体的晶化过程分析 | 第23-24页 |
| ·BZT 薄膜的微结构过程分析 | 第24页 |
| ·BZT 薄膜的电性能测试 | 第24-25页 |
| 第3章 溶胶制备及粉体表征 | 第25-35页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·溶胶-凝胶工艺的基本原理 | 第25-26页 |
| ·溶胶-凝胶的主要影响因素 | 第26-27页 |
| ·溶剂 | 第26页 |
| ·前驱体溶液浓度 | 第26-27页 |
| ·催化剂和溶液PH 值 | 第27页 |
| ·溶胶前驱体的制备 | 第27-29页 |
| ·Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 粉体晶化过程分析及薄膜热处理工艺确定 | 第29-34页 |
| ·Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 粉体的热行为 | 第29-30页 |
| ·Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 粉体的红外. | 第30-32页 |
| ·Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 粉体的物相. | 第32-33页 |
| ·Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 粉体的形貌(SEM) | 第33页 |
| ·不同锆钛比BZT 粉体的物相 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 BZT 薄膜的制备及微结构分析 | 第35-64页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·BZT 薄膜的制备 | 第35-37页 |
| ·衬底清洗 | 第35-36页 |
| ·旋覆成膜 | 第36-37页 |
| ·薄膜的热处理 | 第37页 |
| ·Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 薄膜微结构分析 | 第37-54页 |
| ·退火方式对Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 薄膜微结构的影响 | 第38-40页 |
| ·预烧工艺对Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 薄膜微结构的影响 | 第40-41页 |
| ·退火工艺对Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 薄膜微结构的影响 | 第41-50页 |
| ·PZT(100)缓冲层对Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 薄膜微结构的影响 | 第50-52页 |
| ·Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 薄膜断面形貌(SEM)分析 | 第52-54页 |
| ·Ba(Zr_(0.3)Ti_(0.7))O_3 薄膜微结构分析 | 第54-63页 |
| ·退火方式对Ba(Zr_(0.3)Ti_(0.7))O_3 薄膜微结构的影响 | 第54-56页 |
| ·退火工艺对Ba(Zr_(0.3)Ti_(0.7))O_3 薄膜微结构的影响 | 第56-61页 |
| ·PZT(100)缓冲层对Ba(Zr_(0.3)Ti_(0.7))O_3 薄膜微结构的影响 | 第61页 |
| ·Ba(Zr_(0.3)Ti_(0.7))O_3 薄膜断面形貌(SEM)分析 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第5章 BZT 薄膜电热效应研究 | 第64-72页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·BZT 薄膜电性能分析 | 第64-66页 |
| ·BZT 铁电薄膜样品的准备 | 第64-65页 |
| ·BZT 铁电薄膜介电常数分析 | 第65-66页 |
| ·Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 铁电薄膜电热效应 | 第66-71页 |
| ·(110)取向Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 铁电薄膜的电热效应 | 第66-67页 |
| ·(100)取向Ba(Zr_(0.2)Ti_(0.8))O_3 铁电薄膜的电热效应 | 第67-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
