| 第一章 绪论 | 第1-18页 |
| 1．1 MEMS概述 | 第7-9页 |
| 1．2 MEMSCAD现状 | 第9-16页 |
| 1．3 存在的问题 | 第16-18页 |
| 第二章 数值方法和计算方案 | 第18-27页 |
| 2．1 加速松弛法 | 第20-26页 |
| 2．1．1 艾特金加速法 | 第20-21页 |
| 2．1．2 艾特金公式应用 | 第21-26页 |
| 2．2 动力学耦合问题仿真 | 第26-27页 |
| 第三章 静电-力耦合问题仿真 | 第27-51页 |
| 3．1 基础知识 | 第28-36页 |
| 3．1．1 有限单元法 | 第28-31页 |
| 3．1．2 边界单元法 | 第31-35页 |
| 3．1．3 静电力 | 第35-36页 |
| 3．2 计算方案 | 第36-39页 |
| 3．3 单自由度静电-力耦合问题 | 第39-44页 |
| 3．3．1 问题描述——平行板静电驱动器 | 第39-41页 |
| 3．3．2 平行板静电驱动器的静力学仿真 | 第41-44页 |
| 3．4 一维静电-力耦合问题 | 第44-48页 |
| 3．4．1 问题描述——悬臂梁-基体系统 | 第44-45页 |
| 3．4．2 单元划分 | 第45页 |
| 3．4．3 悬臂梁-基体系统静电-力耦合问题静力学仿真 | 第45-48页 |
| 3．5 二维静电-力耦合问题 | 第48-51页 |
| 3．5．1 问题描述——圆板-基体系统 | 第48页 |
| 3．5．2 单元划分 | 第48-49页 |
| 3．5．3 变形计算 | 第49-51页 |
| 第四章 总结 | 第51-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 致谢 | 第58页 |