| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题研究的意义 | 第9-10页 |
| ·超声分离技术的发展概况 | 第10-13页 |
| ·声辐射力的研究与应用 | 第10-11页 |
| ·超声分离器的研究与发展 | 第11-13页 |
| ·本文的研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 超声分离技术的基础理论 | 第15-25页 |
| ·流体中的声学参数 | 第15-17页 |
| ·声辐射力的产生机理 | 第17-18页 |
| ·流体中悬浮颗粒所受的声辐射力 | 第18-22页 |
| ·平面驻波分离悬浮颗粒的原理 | 第22-25页 |
| 第三章 基于平面驻波模式的MEMS 分离器 | 第25-34页 |
| ·多层谐振结构的微分离器模型 | 第25-26页 |
| ·微分离器的声电等效模型 | 第26-31页 |
| ·平面波在多层介质中的传播 | 第26-29页 |
| ·声电类比与微分离器的等效电路 | 第29-31页 |
| ·基于平面驻波模式和层流的MEMS 超声分离器 | 第31-34页 |
| 第四章 基于二维简正模式的微分离器的设计与仿真 | 第34-58页 |
| ·分离腔的简正振动模式 | 第34-36页 |
| ·基于二维简正模式的MEMS 超声分离器的设计 | 第36-42页 |
| ·MEMS 超声分离器的结构和制作工艺 | 第36-39页 |
| ·微分离器二维简正模式的激发 | 第39-40页 |
| ·分离器横截面的尺寸设计 | 第40-42页 |
| ·微分离器的声场仿真 | 第42-58页 |
| ·有限元分析法及ANSYS 软件介绍 | 第42-43页 |
| ·ANSYS 中声学问题的处理原理 | 第43-49页 |
| ·基于ANSYS 软件的二维微分离腔声场仿真 | 第49-56页 |
| ·微分离腔中声场分布的对比研究 | 第56-58页 |
| 第五章 超声分离腔的流场仿真研究 | 第58-71页 |
| ·CFD 仿真软件FLUENT 介绍 | 第58-60页 |
| ·微分离腔层流仿真的预处理 | 第60-63页 |
| ·微分离腔的层流仿真结果与结构优化 | 第63-67页 |
| ·基于二维简正模式的MEMS 超声分离器的整体设计 | 第67-71页 |
| 第六章 总结与展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
| 在学期间的研究成果 | 第76-77页 |