Fe/Cu纳米多层薄膜调制结构及力学行为研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·金属纳米多层薄膜 | 第8-11页 |
| ·金属纳米多层薄膜特性 | 第8-9页 |
| ·金属纳米多层薄膜调制结构 | 第9-11页 |
| ·金属纳米多层薄膜制备 | 第11页 |
| ·金属纳米多层薄膜力学行为 | 第11-18页 |
| ·薄膜应力 | 第11-15页 |
| ·金属纳米多层薄膜应力 | 第15-17页 |
| ·金属纳米多层薄膜硬度 | 第17-18页 |
| ·Fe/Cu纳米多层薄膜 | 第18-19页 |
| ·本文研究目的及研究内容 | 第19-20页 |
| 2 Fe/Cu纳米多层薄膜制备及分析方法 | 第20-31页 |
| ·Fe/Cu纳米多层薄膜制备 | 第20-24页 |
| ·双室高真空多功能磁控溅射装置 | 第20-22页 |
| ·工艺流程 | 第22-23页 |
| ·工艺参数 | 第23-24页 |
| ·分析方法 | 第24-31页 |
| ·X射线衍射 | 第24-25页 |
| ·透射电子显微镜 | 第25-26页 |
| ·表面轮廓仪 | 第26-27页 |
| ·纳米压痕仪 | 第27-31页 |
| 3 Fe/Cu纳米多层薄膜调制结构 | 第31-43页 |
| ·调制周期 | 第31-33页 |
| ·相结构 | 第33-35页 |
| ·微结构 | 第35-39页 |
| ·横截面形貌和选区电子衍射 | 第35-39页 |
| ·高分辨显微分析 | 第39页 |
| ·讨论 | 第39-43页 |
| 4 Fe/Cu纳米多层薄膜力学行为 | 第43-53页 |
| ·Fe/Cu纳米多层薄膜残余应力 | 第43-47页 |
| ·Fe/Cu纳米多层薄膜硬度 | 第47-49页 |
| ·讨论 | 第49-53页 |
| ·Fe/Cu纳米多层薄膜残余应力的产生与演变机制 | 第49-51页 |
| ·Fe/Cu纳米多层薄膜的强化机制 | 第51-53页 |
| 结论 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
