| 第一章 超硬纳米多层膜和复合膜的研究综述 | 第1-19页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·纳米多层膜 | 第8-11页 |
| ·纳米复合膜 | 第11-13页 |
| ·超硬薄膜的致硬机理和设计 | 第13-17页 |
| ·本文研究目的、意义及内容 | 第17-19页 |
| 第二章 磁控溅射方法制备 TiTiN 纳米多层膜及表征 | 第19-30页 |
| ·磁控溅射方法的工作原理 | 第19-21页 |
| ·磁控溅射沉积 Ti/TiN 纳米多层膜 | 第21-22页 |
| ·Ti/TiN 纳米多层膜样品的表征 | 第22-25页 |
| ·X 射线衍射技术(XRD) | 第22页 |
| ·掠入射X射线反射(GIXRR) | 第22-23页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第23-24页 |
| ·纳米压痕仪(Nanoindentation) | 第24-25页 |
| ·纳米多层膜调制周期和沉积率的测定及界面宽度的估计公式 | 第25-30页 |
| 第三章 沉积条件对 Ti/TiN 多层膜微观结构、界面结构和硬度的影响及 Ti/TiN 多层膜的热稳定性 | 第30-55页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·溅射压强对 Ti/TiN 纳米多层膜的影响 | 第30-35页 |
| ·衬底偏压对 Ti/TiN 多层膜的影响 | 第35-40页 |
| ·衬底温度对 Ti/TiN 多层膜的影响 | 第40-45页 |
| ·Ti/TiN 多层膜的热稳定性 | 第45-51页 |
| ·Ti/TiN 多层膜热稳定性的改善 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-64页 |
| 摘要 | 第64-66页 |
| Abstract | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
