| 第一章 绪论 | 第1-18页 |
| ·超精密研磨的研究与发展 | 第11-14页 |
| ·超精密平面研磨加工中划痕的产生 | 第14-15页 |
| ·超精密平面研磨划痕形成的建模与仿真研究现状 | 第15-16页 |
| ·本论文的主要内容 | 第16-18页 |
| ·本论文研究内容 | 第16-17页 |
| ·本论文结构安排 | 第17-18页 |
| 第二章 平面研磨装置及划痕影响因素的分析 | 第18-33页 |
| ·超精密平面研磨的机床 | 第18-20页 |
| ·磨料的相关概念、参数 | 第20-28页 |
| ·磨料的基本性质 | 第20-21页 |
| ·磨料的分类及代号信息 | 第21-22页 |
| ·磨料的粒度 | 第22-24页 |
| ·磨料质量百分比转化为数量百分比 | 第24-26页 |
| ·磨粒的形状 | 第26-27页 |
| ·磨料的硬度和强度 | 第27-28页 |
| ·研磨工具 | 第28-29页 |
| ·超洁净加工环境 | 第29-30页 |
| ·影响因素的随机化处理 | 第30-31页 |
| ·磨粒压入工件时压入角度的分布 | 第30-31页 |
| ·磨粒形状的分布 | 第31页 |
| ·磨粒尺寸的分布 | 第31页 |
| ·其他影响研磨加工的因素 | 第31页 |
| ·研磨装置的评价指标 | 第31-33页 |
| ·磨粒尺寸敏感度 | 第31-32页 |
| ·划痕的相对深度 | 第32页 |
| ·误差复映率 | 第32-33页 |
| 第三章 工件表面的划痕形成模型 | 第33-43页 |
| ·模型的建立过程 | 第33-34页 |
| ·模型的分析过程 | 第34-40页 |
| ·基于模型分析的仿真实现 | 第40-42页 |
| ·仿真模型的适用性分析 | 第42-43页 |
| 第四章 基于仿真的划痕分析系统的设计与实现 | 第43-54页 |
| ·系统需求分析 | 第43页 |
| ·系统的概要设计 | 第43-44页 |
| ·系统的详细设计 | 第44-49页 |
| ·数据结构的介绍 | 第45-49页 |
| ·CWORKDlg 类 | 第45-47页 |
| ·CMember 类 | 第47页 |
| ·CSizeSetup 类 | 第47-48页 |
| ·CShowDepth 类 | 第48-49页 |
| ·系统的编码实现、部分函数流程图 | 第49-51页 |
| ·CWORKDlg 的OnCalculation()函数 | 第49-51页 |
| ·部分函数程序流程图 | 第51页 |
| ·系统的测试 | 第51-54页 |
| ·系统的单元测试 | 第51-52页 |
| ·系统的集成测试 | 第52-54页 |
| 第五章 磨粒尺寸敏感度与仿真分析 | 第54-69页 |
| ·磨粒尺寸敏感度的概念 | 第54-58页 |
| ·误差复映率 | 第58-59页 |
| ·仿真程序的分析 | 第59-69页 |
| ·仿真程序的使用介绍 | 第59-62页 |
| ·仿真分析统计 | 第62-69页 |
| 第六章 减少划痕的思路及研磨新装置介绍 | 第69-73页 |
| ·预防及避免划痕措施 | 第69-70页 |
| ·随机划痕预防措施 | 第69页 |
| ·工艺参数配置不当产生划痕的预防措施 | 第69-70页 |
| ·新研磨装置的设计及分析 | 第70-73页 |
| 第七章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·全文工作总结 | 第73页 |
| ·展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 在学期间的主要研究成果 | 第79页 |