磁控溅射非晶WO3薄膜及其电致变色性能研究
| 独创性说明 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-25页 |
| ·选题意义 | 第9-10页 |
| ·电致变色材料简介 | 第10-12页 |
| ·电致变色薄膜发展的简单回顾 | 第10-11页 |
| ·电致变色材料的组成 | 第11-12页 |
| ·电致变色薄膜变色机理 | 第12-14页 |
| ·色心(Deb)模型 | 第12-13页 |
| ·电化学反应模型 | 第13页 |
| ·双注入模型 | 第13页 |
| ·极化模型 | 第13-14页 |
| ·Bechinger模型 | 第14页 |
| ·自由载流子模型 | 第14页 |
| ·电致变色薄膜的应用 | 第14-17页 |
| ·智能窗 | 第15-16页 |
| ·电致变色显示器 | 第16页 |
| ·汽车观后镜 | 第16-17页 |
| ·电色储存器件 | 第17页 |
| ·电致变色材料存在的问题 | 第17-18页 |
| ·电致变色薄膜制备技术概述 | 第18-24页 |
| ·化学气相沉积 | 第18-19页 |
| ·溶胶-凝胶工艺 | 第19页 |
| ·真空蒸镀沉积 | 第19-20页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第20-21页 |
| ·溅射沉积 | 第21-24页 |
| ·本文研究的目的及意义 | 第24-25页 |
| 2 WO_3薄膜研究概述 | 第25-30页 |
| ·WO_3薄膜基本物理性质 | 第25-26页 |
| ·WO_3薄膜的制备方法 | 第26-28页 |
| ·WO_3薄膜的应用研究及存在的问题 | 第28-30页 |
| 3 样品的制备及实验方法 | 第30-36页 |
| ·实验设备与仪器 | 第30-33页 |
| ·薄膜沉积设备简介 | 第30-31页 |
| ·材料的表征与性能测试 | 第31-33页 |
| ·实验工艺 | 第33-36页 |
| ·实验材料 | 第33-34页 |
| ·电解质的制备 | 第34页 |
| ·WO_3薄膜的制备 | 第34-35页 |
| ·薄膜的致色 | 第35-36页 |
| 4 WO_3薄膜性能研究 | 第36-45页 |
| ·WO_3薄膜结构及成分分析 | 第36-38页 |
| ·氧气含量对薄膜性能的影响 | 第38-41页 |
| ·热处理温度对薄膜结构及性能的影响 | 第41-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 5 Ti掺杂WO_3薄膜电致变色性能的研究 | 第45-56页 |
| ·掺杂的优势 | 第45-46页 |
| ·掺杂工艺 | 第46页 |
| ·Ti掺杂量的确定 | 第46-48页 |
| ·Ti掺杂对WO_3薄膜结构影响 | 第48-51页 |
| ·Ti掺杂对WO_3薄膜电致变色性能的影响 | 第51-54页 |
| ·钛掺杂对透射光谱的影响 | 第51-52页 |
| ·钛掺杂对吸收光谱的影响 | 第52页 |
| ·钛掺杂对伏安曲线和响应时间的影响 | 第52-54页 |
| ·钛掺杂对循环寿命的影响 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第62页 |
