第1章 引言 | 第1-11页 |
·课题的研究背景及意义 | 第6-9页 |
·数字X 射线FPD 的研究背景及意义 | 第6-8页 |
·非晶硒合金膜的研究背景与意义 | 第8-9页 |
·论文结构安排 | 第9-11页 |
第2章 应用非晶硒于数字X 射线FPD 之理论研究 | 第11-25页 |
·数字X 射线FPD 概述 | 第11-13页 |
·间接型数字X 射线FPD 的结构与研究状况 | 第11-12页 |
·直接型数字X 射线FPD 的结构 | 第12-13页 |
·非晶硒的结构与性能研究以及实验意义 | 第13-25页 |
·非晶硒合金膜的物理结构特性 | 第14-16页 |
·非晶硒对X 射线的光电性能研究 | 第16-25页 |
第3章 真空热蒸镀制备技术理论研究 | 第25-38页 |
·真空技术基础 | 第25-27页 |
·物理气相沉积方法 | 第27-33页 |
·物质的蒸发速度 | 第27-28页 |
·薄膜沉积的方向性 | 第28-30页 |
·大面积薄膜的均匀性控制 | 第30-32页 |
·蒸发沉积薄膜的纯度 | 第32-33页 |
·真空镀膜装置 | 第33-38页 |
·真空泵 | 第33-34页 |
·真空测量仪器 | 第34-36页 |
·加热装置 | 第36-37页 |
·底板冷却系统 | 第37-38页 |
第4章 非晶硒合金膜的制备实验 | 第38-62页 |
·实验设计 | 第38-56页 |
·制备合金源与衬底 | 第38-40页 |
·蒸镀装置设计 | 第40-56页 |
·实验步骤 | 第56-59页 |
·衬底和仪器准备 | 第57页 |
·制备蒸镀源 | 第57-58页 |
·真空镀膜 | 第58-59页 |
·实验结果 | 第59-60页 |
·实验方法分析 | 第60-62页 |
第5章 非晶硒合金膜的测试研究 | 第62-68页 |
·合金膜的厚度分布测试 | 第62-63页 |
·非晶化程度测试 | 第63-65页 |
·电导率检测 | 第65-68页 |
第6章 结论 | 第68-69页 |
参考文献 | 第69-71页 |
致谢 | 第71-72页 |
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第72页 |