光学薄膜激光损伤及散射检测研究
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-8页 |
| 1 引言 | 第8-10页 |
| ·课题的意义 | 第8页 |
| ·激光损伤机理研究历史 | 第8-9页 |
| ·检测激光损伤的几种主要研究方法 | 第9页 |
| ·本论文的主要工作 | 第9-10页 |
| 2 综述 | 第10-26页 |
| ·光学薄膜的强激光损伤 | 第10-19页 |
| ·损伤机理 | 第10-14页 |
| ·光学薄膜激光热力耦合损伤机理 | 第14-16页 |
| ·影响光学薄膜损伤阈值的因素 | 第16-19页 |
| ·提高光学材料抗激光损伤强度的技术 | 第19-23页 |
| ·光学材料表面抗激光增强技术 | 第19-21页 |
| ·激光清洗技术 | 第21-23页 |
| ·激光损伤的检测 | 第23-26页 |
| ·国内外检测激光损伤的主要研究方法 | 第23-24页 |
| ·散射法在线检测激光损伤 | 第24-26页 |
| 3 光学元件激光损伤实验研究 | 第26-39页 |
| ·激光损伤的定义 | 第26-27页 |
| ·50%损伤几率阈值 | 第27页 |
| ·零几率损伤阈值 | 第27页 |
| ·激光损伤阈值测试系统 | 第27-31页 |
| ·泵浦光路 | 第27-28页 |
| ·激光损伤测试手段 | 第28-30页 |
| ·光斑面积测量 | 第30-31页 |
| ·损伤实验研究 | 第31-37页 |
| ·熔石英损伤实验研究 | 第31-35页 |
| ·ZrO_2 薄膜的微结构与其抗激光损伤能力分析 | 第35-37页 |
| ·小结 | 第37-39页 |
| 4 激光损伤阈值的改善 | 第39-51页 |
| ·激光预处理技术 | 第39-45页 |
| ·激光预处理机理 | 第39-40页 |
| ·激光预处理方式 | 第40-41页 |
| ·激光预处理实验研究 | 第41-45页 |
| ·化学腐蚀提高激光损伤阈值 | 第45-51页 |
| ·HF 酸腐蚀对熔石英表面抗激光损伤阈值的影响 | 第45-48页 |
| ·熔石英抗激光损伤阈值的表征及探讨 | 第48-51页 |
| 5 散射法在线检测激光损伤 | 第51-59页 |
| ·引言 | 第51-52页 |
| ·He-Ne 散射法在线检测系统 | 第52-53页 |
| ·光路设计 | 第52-53页 |
| ·软件功能设计 | 第53页 |
| ·激光损伤检测实验研究 | 第53-58页 |
| ·实验条件和方法 | 第53-54页 |
| ·HfO_2/SiO_2 高反膜测量 | 第54-56页 |
| ·HfO_2/SiO_2 增透膜测量 | 第56-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 6 总结 | 第59-61页 |
| ·主要结果 | 第59页 |
| ·有待进一步研究的问题 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-67页 |
| 附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第67-68页 |
| 独创性声明 | 第68页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第68页 |
