| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·微波与物质的相互作用 | 第8-9页 |
| ·矩形波导微波化学反应系统 | 第9-11页 |
| ·本论文的研究目的和主要内容 | 第11-13页 |
| 第二章 矩形波导微波化学反应系统 | 第13-24页 |
| ·矩形波导微波化学反应系统的组成 | 第13页 |
| ·环形器 | 第13-15页 |
| ·匹配负载 | 第15-16页 |
| ·大功率微波衰减器 | 第16-22页 |
| ·定向耦合器 | 第22-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 矩形波导微波化学反应器 | 第24-29页 |
| ·矩形波导微波化学反应器的结构示意图 | 第24页 |
| ·矩形波导单模谐振腔反应器的可行性分析 | 第24-27页 |
| ·实验中使用的反应器的材料和参数 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 微波等离子体基本参量的测量 | 第29-42页 |
| ·等离子体简介 | 第29页 |
| ·微波等离子体的优点及气体微波放电机理 | 第29-30页 |
| ·等离子体的电子温度Te和等离子体密度n_0的测量 | 第30-35页 |
| ·等离子体等效相对介电常数ε_r的测量 | 第35-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第五章 真空系统的气体流速和压强 | 第42-52页 |
| ·真空度的表述 | 第42-44页 |
| ·真空状态下的气体流动 | 第44-48页 |
| ·矩形波导微波化学反应系统中的真空 | 第48-49页 |
| ·真空系统中反应管内气体压强的测量 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 结束语 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-56页 |
| 附录 | 第56页 |