FBAR及其振荡器的研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 缩略词表 | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| ·课题研究背景 | 第11-12页 |
| ·FBAR简介 | 第12-18页 |
| ·FBAR历史和研究现状 | 第12-14页 |
| ·FBAR工作原理 | 第14-16页 |
| ·典型的FBAR结构 | 第16-18页 |
| ·FBAR振荡器研究现状 | 第18-21页 |
| ·射频可调滤波器研究现状 | 第21-23页 |
| ·论文的研究内容和章节安排 | 第23-25页 |
| ·论文的研究内容 | 第23-24页 |
| ·各章节内容安排 | 第24-25页 |
| 2 FBAR制备及测试 | 第25-33页 |
| ·FBAR制作工艺及版图 | 第25-29页 |
| ·FBAR测试 | 第29-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 3 FBAR模型及本征Q值计算 | 第33-51页 |
| ·FBAR等效模型 | 第33-40页 |
| ·Mason模型 | 第33-36页 |
| ·BVD模型 | 第36-37页 |
| ·MBVD模型 | 第37-38页 |
| ·PMBVD模型 | 第38-39页 |
| ·GBVD模型 | 第39-40页 |
| ·FBAR本征Q值的测算 | 第40-49页 |
| ·FBAR品质因数的测算方法 | 第41-42页 |
| ·FBAR本征Q值的测算方法 | 第42-44页 |
| ·测算方法的验证 | 第44-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 4 FBAR滤波器应用技术 | 第51-67页 |
| ·FBAR可调滤波器的研究 | 第51-57页 |
| ·FBAR滤波器原理 | 第51-53页 |
| ·FBAR频率可调技术 | 第53-56页 |
| ·FBAR可调滤波器的研究 | 第56-57页 |
| ·温度补偿 | 第57-62页 |
| ·FBAR的温度特性 | 第58-59页 |
| ·FBAR温度补偿方法 | 第59-62页 |
| ·FBAR滤波器大功率技术 | 第62-65页 |
| ·现有FBAR技术及其缺点 | 第63-64页 |
| ·FBAR大功率容量技术 | 第64-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 5 FBAR振荡器的研究 | 第67-81页 |
| ·振荡器工作原理 | 第67-69页 |
| ·相位噪声 | 第69-70页 |
| ·FBAR振荡器原理 | 第70-72页 |
| ·FBAR器件的选择及模型建立 | 第72-74页 |
| ·FBAR振荡器的设计 | 第74-77页 |
| ·FBAR振荡器版图及后仿 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 6 总结及展望 | 第81-83页 |
| ·论文主要研究内容和成果 | 第81页 |
| ·论文的不足之处及进一步工作 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-88页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第88-89页 |
