| 中文摘要 | 第1-7页 |
| 英文摘要 | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-22页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·SnO_2薄膜的特性 | 第8-10页 |
| ·SnO_2薄膜的晶体结构 | 第8-9页 |
| ·SnO_2薄膜的光电性质 | 第9页 |
| ·SnO_2薄膜的气敏性质 | 第9页 |
| ·SnO_2薄膜的的湿敏性质 | 第9-10页 |
| ·SnO_2薄膜的应用 | 第10-11页 |
| ·太阳能电池 | 第10页 |
| ·气敏传感器 | 第10-11页 |
| ·薄膜电阻器 | 第11页 |
| ·光电子器件 | 第11页 |
| ·保护层 | 第11页 |
| ·SnO_2薄膜的制备方法 | 第11-16页 |
| ·溅射工艺 | 第11-12页 |
| ·化学气象沉积(CVD) | 第12-14页 |
| ·溶胶凝胶(Sol-Gel) | 第14页 |
| ·喷涂热解(Spray pyrolysis) | 第14-16页 |
| ·蒸发工艺 | 第16页 |
| ·SnO_2薄膜掺杂的研究进展 | 第16-20页 |
| ·SnO_2薄膜N型掺杂 | 第16-18页 |
| ·锑掺杂 | 第16-17页 |
| ·氟掺杂 | 第17页 |
| ·磷掺杂 | 第17-18页 |
| ·其他掺杂 | 第18页 |
| ·SnO_2薄膜P型掺杂 | 第18-20页 |
| ·P型掺杂机理 | 第18-19页 |
| ·P型TCO掺杂研究进展 | 第19-20页 |
| ·本文研究的目的及意义 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第二章 溶胶凝胶成膜原理与工艺 | 第22-30页 |
| ·溶胶凝胶制备薄膜的原理 | 第22-23页 |
| ·溶胶凝胶制备SnO_2及合金薄膜的工艺 | 第23-26页 |
| ·引言 | 第23-24页 |
| ·溶胶 | 第24页 |
| ·工艺流程 | 第24-26页 |
| ·溶胶凝胶涂层技术 | 第26-29页 |
| ·引言 | 第26页 |
| ·浸渍法 | 第26-27页 |
| ·旋镀法 | 第27-28页 |
| ·喷雾涂层技术 | 第28页 |
| ·简单涂刷 | 第28-29页 |
| ·薄膜的热处理 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 溶胶凝胶法中影响薄膜性质的工艺参数分析 | 第30-36页 |
| ·溶胶的影响 | 第30-31页 |
| ·溶胶配制工艺的影响 | 第30页 |
| ·溶胶性质的影响 | 第30-31页 |
| ·衬底的影响 | 第31-32页 |
| ·涂层工艺的影响 | 第32页 |
| ·热处理的影响 | 第32-35页 |
| ·升温速率的影响 | 第32-33页 |
| ·高温热处理温度的影响 | 第33-34页 |
| ·保温时间的影响 | 第34页 |
| ·降温速率的影响 | 第34-35页 |
| ·环境对薄膜性能的影响 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 溶胶凝胶浸渍法制备SnO_2:In薄膜 | 第36-39页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·试验设备 | 第36-37页 |
| ·实验原料 | 第37页 |
| ·实验主要步骤 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第五章 浸渍法制SnO_2:In薄膜的性能测试 | 第39-50页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·SnO_2:In薄膜的结晶状况 | 第39-42页 |
| ·In／Sn原子比对SnO_2:In薄膜结晶状况的影响 | 第39-41页 |
| ·热处理温度对SnO_2:In薄膜结晶状况的影响 | 第41-42页 |
| ·SnO_2:In薄膜的光学性能 | 第42-44页 |
| ·In／Sn原子比对SnO_2:In薄膜的光学性能的影响 | 第42-43页 |
| ·热处理温度对SnO_2:In薄膜的光学性能的影响 | 第43-44页 |
| ·SnO_2:In薄膜的电学性能 | 第44-47页 |
| ·In／Sn原子比对SnO_2:In薄膜的电学性能的影响 | 第44-45页 |
| ·热处理温度对SnO_2:In薄膜的电学性能的影响 | 第45-47页 |
| ·SnO_2:In薄膜XPS测试分析 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 基于铟锡氧化物的透明pn结 | 第50-54页 |
| ·引言 | 第50-51页 |
| ·SnO_2薄膜N-In_2O_3／P-SnO_2异质结的制作 | 第51-52页 |
| ·N-In_2O_3／P-SnO_2异质结的电学性能 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第七章 溶胶凝胶浸渍法制备p型掺锌SnO_2薄膜及薄膜性质表征 | 第54-59页 |
| ·实验设备 | 第54页 |
| ·实验原料 | 第54页 |
| ·实验步骤 | 第54-55页 |
| ·薄膜性质表征 | 第55-58页 |
| ·薄膜结构性能 | 第55-56页 |
| ·薄膜光学性能 | 第56-57页 |
| ·薄膜电学性能 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第八章 喷雾热涂法制备p型掺锌In_2O_3薄膜 | 第59-67页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·喷雾热涂法制备P型掺杂In_2O_3薄膜 | 第59-61页 |
| ·实验设备 | 第59-60页 |
| ·实验原料 | 第60-61页 |
| ·实验主要步骤 | 第61页 |
| ·掺锌氧化铟(In_2O_3:Zn)薄膜热稳定性分析 | 第61-66页 |
| ·引言 | 第61-62页 |
| ·结晶性能测试 | 第62-64页 |
| ·光学性能测试 | 第64-65页 |
| ·Hall测试 | 第65-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第九章 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 攻读硕士期间完成的学术论文 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
