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基于光谱分辨的单帧式绝对程差测量

致谢第1-5页
摘要第5-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-19页
   ·课题背景第10-14页
     ·移相干涉术第10-12页
     ·噪声及相位不确定性第12-14页
   ·国内外研究现状第14-18页
     ·主动抗振技术第15页
     ·被动抗振技术第15-18页
   ·本文的主要工作和创新性第18-19页
第二章 光谱分辨式白光干涉仪第19-28页
   ·基本原理第19-21页
   ·相位解包裹第21-26页
     ·希尔伯特变换法第22-23页
     ·傅里叶变换法第23页
     ·时间移相算法第23页
     ·空间移相算法第23-26页
   ·光谱分辨式白光干涉仪的应用第26-28页
第三章 一维面形的测量第28-48页
   ·实验装置与器件选择第28-39页
     ·光源模块第28-30页
     ·准直模块第30-31页
     ·干涉模块第31-32页
     ·色散模块第32-36页
     ·成像模块第36-39页
   ·图像采集及数据处理第39-48页
第四章 二维面形的测量第48-61页
   ·梳状光谱的获取第48-52页
   ·实验装置及测量原理第52-56页
   ·图像采集及数据处理第56-61页
     ·波长标定第56-57页
     ·面形解算第57-61页
第五章 实验结果的误差分析第61-65页
   ·光强不稳定性第61-63页
     ·对波长标定的影响第62页
     ·对测量结果的影响第62-63页
   ·PZT移相误差第63页
   ·CCD的误差第63-65页
第六章 总结与展望第65-67页
   ·本文总结第65页
   ·研究结论第65-66页
   ·未来工作展望第66-67页
硕士期间主要研究成果第67-68页
参考文献第68-70页

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