基于光谱分辨的单帧式绝对程差测量
致谢 | 第1-5页 |
摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-10页 |
第一章 绪论 | 第10-19页 |
·课题背景 | 第10-14页 |
·移相干涉术 | 第10-12页 |
·噪声及相位不确定性 | 第12-14页 |
·国内外研究现状 | 第14-18页 |
·主动抗振技术 | 第15页 |
·被动抗振技术 | 第15-18页 |
·本文的主要工作和创新性 | 第18-19页 |
第二章 光谱分辨式白光干涉仪 | 第19-28页 |
·基本原理 | 第19-21页 |
·相位解包裹 | 第21-26页 |
·希尔伯特变换法 | 第22-23页 |
·傅里叶变换法 | 第23页 |
·时间移相算法 | 第23页 |
·空间移相算法 | 第23-26页 |
·光谱分辨式白光干涉仪的应用 | 第26-28页 |
第三章 一维面形的测量 | 第28-48页 |
·实验装置与器件选择 | 第28-39页 |
·光源模块 | 第28-30页 |
·准直模块 | 第30-31页 |
·干涉模块 | 第31-32页 |
·色散模块 | 第32-36页 |
·成像模块 | 第36-39页 |
·图像采集及数据处理 | 第39-48页 |
第四章 二维面形的测量 | 第48-61页 |
·梳状光谱的获取 | 第48-52页 |
·实验装置及测量原理 | 第52-56页 |
·图像采集及数据处理 | 第56-61页 |
·波长标定 | 第56-57页 |
·面形解算 | 第57-61页 |
第五章 实验结果的误差分析 | 第61-65页 |
·光强不稳定性 | 第61-63页 |
·对波长标定的影响 | 第62页 |
·对测量结果的影响 | 第62-63页 |
·PZT移相误差 | 第63页 |
·CCD的误差 | 第63-65页 |
第六章 总结与展望 | 第65-67页 |
·本文总结 | 第65页 |
·研究结论 | 第65-66页 |
·未来工作展望 | 第66-67页 |
硕士期间主要研究成果 | 第67-68页 |
参考文献 | 第68-70页 |