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碳钢表面双辉渗镀TiC及Ti(CN)膜的工艺和性能研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-14页
第一章 绪论第14-26页
   ·表面技术与工程概述第14-15页
   ·金属材料表面陶瓷化第15-16页
   ·TIN 类陶瓷膜简介第16-17页
   ·TIN 类陶瓷膜的制备方法及其局限性第17-19页
     ·化学气相沉积法第17-18页
     ·物理气相沉积法第18页
     ·自蔓延燃烧合成法第18页
     ·固体粉末渗覆法第18-19页
     ·激光熔覆法第19页
     ·电泳沉积法第19页
   ·双层辉光渗金属技术第19-23页
     ·双辉技术原理第20-21页
     ·双辉技术特点第21-22页
     ·双辉技术的研究进展与应用第22-23页
   ·本课题的研究内容第23-26页
     ·课题的提出第23-24页
     ·双辉渗镀TiN 类陶瓷膜的机理第24-25页
     ·本课题的主要研究内容第25-26页
第二章 双辉渗镀TIC 及TI(CN)的工艺研究第26-33页
   ·试验设备与试验材料第26-27页
     ·试验设备第26页
     ·试验材料第26-27页
   ·试验方案及工艺路线第27-29页
     ·试验方案设计第27-28页
     ·源极结构的设计第28页
     ·试验步骤第28-29页
   ·渗镀工艺参数的优化第29-32页
     ·渗镀TiC 陶瓷膜工艺参数的优化第29-31页
     ·渗镀Ti(CN)陶瓷膜工艺参数的优化第31-32页
   ·工艺优化小结第32-33页
第三章 渗镀层的结合力与微观分析第33-47页
   ·分析检测仪器第33页
   ·TI、C 二元共渗的分析第33-38页
     ·渗镀层的微观形貌第33-35页
     ·渗镀层的能谱分析第35页
     ·渗镀层的XRD 物相检测第35-37页
     ·渗镀层与基体的结合力第37-38页
   ·TI、C、N 三元共渗的分析第38-46页
     ·渗镀层的微观形貌第38-40页
     ·渗镀层的能谱分析第40-41页
     ·渗镀层的XRD 物相检测第41-43页
     ·渗镀层与基体的结合力第43-46页
   ·本章小结第46-47页
第四章 渗镀层的摩擦磨损性能第47-58页
   ·材料的摩擦磨损[97-100]第47-51页
     ·摩擦第47-48页
     ·磨损第48-49页
     ·耐磨性表征与磨损试验第49-51页
   ·试验方法第51-52页
     ·试验材料第51页
     ·试验设备第51-52页
     ·试验参数设置第52页
   ·试验结果与分析第52-57页
     ·摩擦系数第52-54页
     ·耐磨性第54-56页
     ·磨损形貌第56-57页
   ·本章小结第57-58页
第五章 渗镀层的耐腐蚀性能第58-67页
   ·电化学测试原理及腐蚀性能评价第58-61页
     ·电化学测试原理第58-59页
     ·极化曲线及其测定第59-60页
     ·腐蚀性能表征第60-61页
   ·试验方法第61-62页
     ·腐蚀液的选择第61页
     ·试验材料及其制备第61页
     ·试验设备及参数第61-62页
   ·试验结果与分析第62-66页
     ·3.5% NaCl 水溶液中的电化学腐蚀第62-64页
     ·5% H_2SO_4 水溶液中的电化学腐蚀第64-66页
     ·腐蚀形貌第66页
   ·本章小结第66-67页
第六章 C、N、TI 渗入顺序对渗镀层的影响第67-76页
   ·试验方法第67-68页
   ·渗镀层的微观分析第68-73页
     ·渗镀层的微观组织结构第68-70页
     ·渗镀层的成份第70-71页
     ·渗镀层的物相分析第71-73页
   ·渗镀层的性能表征第73-75页
     ·渗镀层与基体的结合力第73-74页
     ·渗镀层的表面硬度第74-75页
     ·渗镀层的耐磨性第75页
   ·本章小结第75-76页
第七章 结论第76-78页
   ·结论第76-77页
   ·建议与展望第77-78页
参考文献第78-84页
致谢第84-85页
硕士研究生期间的研究成果及发表的学术论文第85页

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