| 提要 | 第1-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·MEMS 工艺技术 | 第10-13页 |
| ·微机械加速度传感器的分类 | 第13-18页 |
| ·压阻式微加速度传感器 | 第13-15页 |
| ·电容式微加速度传感器 | 第15-16页 |
| ·谐振式微加速度传感器 | 第16-17页 |
| ·基于隧道效应的微加速度传感器 | 第17-18页 |
| ·MEMS 微加速度传感器的国内外研究现状及应用领域 | 第18-23页 |
| ·国内外研究现状 | 第18-21页 |
| ·MEMS 加速度传感器的应用领域 | 第21-23页 |
| ·课题来源及本文主要研究内容 | 第23-24页 |
| ·课题来源 | 第23页 |
| ·本文主要研究内容 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第二章 加速度传感器敏感部分的设计与分析 | 第25-56页 |
| ·加速度传感器的力学原理 | 第25-27页 |
| ·加速度 | 第25-26页 |
| ·牛顿第二定律与达朗贝尔原理 | 第26-27页 |
| ·变面积差分电容式微加速计的工作原理 | 第27-29页 |
| ·平板电容的变面积理论 | 第27-28页 |
| ·差分电容式微加速度传感器的工作原理 | 第28-29页 |
| ·差分电容式微加速度传感器的结构设计 | 第29-37页 |
| ·弹簧梁的设计方案和敏感芯片建模 | 第29-31页 |
| ·假设和简化 | 第31-32页 |
| ·可动质量块的位移Δl | 第32-35页 |
| ·电容变化ΔC 与加速度a 的线性关系 | 第35-36页 |
| ·折叠梁的失效分析 | 第36-37页 |
| ·主要性能指标 | 第37-41页 |
| ·固有频率 | 第37页 |
| ·量程 | 第37-38页 |
| ·灵敏度 | 第38-39页 |
| ·阻尼 | 第39-41页 |
| ·结构参数的理论优化设计 | 第41-43页 |
| ·微加速度传感器的静力分析 | 第43-49页 |
| ·折叠梁的结构静力分析 | 第43-46页 |
| ·加速度传感器的结构静力分析 | 第46-49页 |
| ·微加速度传感器的结构动力学分析 | 第49-54页 |
| ·微加速度传感器的结构优化 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第三章 加速度传感器关键工艺的研究 | 第56-85页 |
| ·常用的几种微机械制造技术 | 第56-64页 |
| ·表面 MEMS 加工技术 | 第56-58页 |
| ·体硅 MEMS 加工技术 | 第58-62页 |
| ·LIGA 技术和准 LIGA | 第62-64页 |
| ·ICP深刻蚀技术 | 第64-74页 |
| ·ICP 刻蚀工艺原理 | 第65-67页 |
| ·ICP 刻蚀系统工作原理 | 第67-68页 |
| ·ICP 刻蚀参数对刻蚀结果的影响 | 第68-74页 |
| ·加速度传感器制作过程中所需工艺设备与工艺参数 | 第74-79页 |
| ·光刻 | 第74-75页 |
| ·反应离子刻蚀（RIE） | 第75-76页 |
| ·ICP 刻蚀 | 第76页 |
| ·真空镀膜 | 第76-77页 |
| ·静电键合 | 第77-79页 |
| ·加速度传感器的制作工艺流程 | 第79-80页 |
| ·加速度传感器制作过程出现的几个问题及解决办法 | 第80-84页 |
| ·键合界面空洞过多 | 第80-82页 |
| ·光刻对准 | 第82-83页 |
| ·折叠梁结构易断 | 第83-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 第四章 加速度传感器检测电路的制作 | 第85-115页 |
| ·检测方案的确定 | 第85-94页 |
| ·检测电路的确定 | 第85-90页 |
| ·等效电容模型分析 | 第90-92页 |
| ·载波波形的选择 | 第92-93页 |
| ·载波频率的选择 | 第93-94页 |
| ·电路各功能模块的设计 | 第94-108页 |
| ·载波产生电路 | 第95-96页 |
| ·电荷放大器及带通滤波器的设计 | 第96-99页 |
| ·相敏解调模块的设计 | 第99-102页 |
| ·末级低通滤波器和直流放大电路设计 | 第102-104页 |
| ·数据采集和显示 | 第104-105页 |
| ·程序流程 | 第105页 |
| ·电路性能影响因素的分析 | 第105-108页 |
| ·检测电路的性能测试 | 第108-114页 |
| ·模拟测试 | 第108-110页 |
| ·实际测试 | 第110-113页 |
| ·性能分析 | 第113-114页 |
| ·本章小结 | 第114-115页 |
| 第五章 全文总结与展望 | 第115-117页 |
| ·全文总结 | 第115-116页 |
| ·下一步的工作展望 | 第116-117页 |
| 参考文献 | 第117-128页 |
| 致谢 | 第128-129页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及参与项目 | 第129-132页 |
| 摘要 | 第132-135页 |
| ABSTRACT | 第135-138页 |