硅微机械陀螺仪数字化检测电路研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-24页 |
| ·MEMS及MEMS陀螺概述 | 第7-12页 |
| ·MEMS概述 | 第7-8页 |
| ·MEMS陀螺仪概述 | 第8-12页 |
| ·硅微机械陀螺仪基本理论 | 第12-19页 |
| ·硅微机械陀螺仪工作原理 | 第12-13页 |
| ·硅微型机械陀螺仪静电驱动原理 | 第13-16页 |
| ·硅微型机械陀螺仪驱动检测原理 | 第16-17页 |
| ·硅微型机械陀螺仪敏感检测原理 | 第17-19页 |
| ·硅微机械陀螺仪数字化研究现状 | 第19-22页 |
| ·论文主要内容 | 第22-24页 |
| 2 硅微机械陀螺仪数字化接口设计 | 第24-43页 |
| ·硅微机械陀螺仪数字化接口硬件设计 | 第24-33页 |
| ·高精度A/D转换电路设计 | 第26-32页 |
| ·温度传感器DS18B20 | 第32-33页 |
| ·串行通信接口 | 第33页 |
| ·硅微机械陀螺仪数字化接口软件设计 | 第33-43页 |
| ·单片机开发环境 | 第33-34页 |
| ·ATmega16L软件结构 | 第34-35页 |
| ·软件流程 | 第35-38页 |
| ·A/D控制程序 | 第38-39页 |
| ·DS18B20温度传感器程序 | 第39-41页 |
| ·BootLoader功能程序设计 | 第41-43页 |
| 3 硅微机械陀螺仪数字化检测电路设计 | 第43-65页 |
| ·硅微机械陀螺仪信号检测原理 | 第43-47页 |
| ·硅微机械陀螺仪模拟检测原理 | 第43-45页 |
| ·硅微机械陀螺仪数字化检测原理 | 第45-47页 |
| ·硅微机械陀螺仪数字化检测硬件设计 | 第47-57页 |
| ·DSP最小系统设计 | 第49-55页 |
| ·高精度A/D转换电路设计 | 第55-56页 |
| ·波形转换电路设计 | 第56页 |
| ·串行通信接口 | 第56-57页 |
| ·硅微机械陀螺仪数字化检测软件设计 | 第57-65页 |
| ·DSP开发环境 | 第57-58页 |
| ·DSP软件结构 | 第58页 |
| ·DSP软件流程 | 第58-60页 |
| ·A/D控制程序 | 第60页 |
| ·参考信号频率测量 | 第60-61页 |
| ·解调算法 | 第61页 |
| ·FIR滤波器设计 | 第61-65页 |
| 4 硅微机械陀螺仪数字化设计成果测试 | 第65-75页 |
| ·硅微机械陀螺仪数字化检测电路的MATLAB仿真 | 第65-66页 |
| ·数字化检测电路检测标准信号实验 | 第66-68页 |
| ·硅微机械陀螺仪数字化接口实验 | 第68-71页 |
| ·硅微机械陀螺仪数字化检测电路应用 | 第71-75页 |
| ·标度因数及标度因数非线性实验 | 第71-72页 |
| ·零偏稳定性实验 | 第72-75页 |
| 5 总结与展望 | 第75-77页 |
| ·总结 | 第75页 |
| ·展望 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 附录 A | 第82-83页 |
| 附录 B | 第83-84页 |
| 附录 C | 第84-85页 |
| 附录 D | 第85页 |
