机电集成静电谐波微马达动力学特性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-24页 |
| ·引言 | 第11-16页 |
| ·MEMS 发展历史 | 第11-12页 |
| ·MEMS 用途分类 | 第12-14页 |
| ·微细加工技术 | 第14-16页 |
| ·微电机研究概述 | 第16-18页 |
| ·静电微电机国内外研究现状 | 第18-22页 |
| ·主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 电场力作用下柔轮变形研究 | 第24-42页 |
| ·机电集成静电谐波微马达工作原理 | 第24-25页 |
| ·模型的建立 | 第25-28页 |
| ·柔轮微元的力学平衡方程 | 第25-27页 |
| ·电场力的计算 | 第27-28页 |
| ·伸长因素对柔轮变形的影响 | 第28-31页 |
| ·剪切对柔轮变形的影响 | 第31-35页 |
| ·结果分析 | 第35-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第3章 柔轮面内振动分析 | 第42-59页 |
| ·转子动力学模型的建立 | 第42-43页 |
| ·自由振动的求解 | 第43-48页 |
| ·强迫振动分析 | 第48-51页 |
| ·结果分析 | 第51-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 柔轮面外自由振动分析 | 第59-79页 |
| ·柔轮变形能和电势能计算 | 第59-64页 |
| ·变形能计算 | 第59-61页 |
| ·柔轮截面动能与电场能 | 第61-63页 |
| ·面外自由振动微分方程 | 第63-64页 |
| ·面外自由振动频率与模态求解 | 第64-66页 |
| ·自由振动频率求解 | 第64-65页 |
| ·模态求解 | 第65-66页 |
| ·结果分析 | 第66-78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 第5章 柔轮面外受迫振动分析 | 第79-89页 |
| ·受迫振动模型的建立 | 第79-81页 |
| ·模态正交性 | 第81-82页 |
| ·受迫振动的求解 | 第82-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第6章 静电谐波电机驱动机器人动力学分析 | 第89-103页 |
| ·静电谐波微型移动机器人结构设计 | 第89-93页 |
| ·设计原则 | 第89页 |
| ·电机参数确定 | 第89-91页 |
| ·结构参数确定 | 第91-93页 |
| ·驱动轴的扭转动力学特性 | 第93-102页 |
| ·驱动轴扭转自由振动 | 第93-95页 |
| ·驱动轴扭转受迫振动 | 第95-97页 |
| ·驱动轴扭转振动结果分析 | 第97-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 第7章 样机设计加工、试验与系统动力学模拟 | 第103-127页 |
| ·结构设计 | 第103-108页 |
| ·微电机总体尺寸 | 第103页 |
| ·介电材料的选择 | 第103-104页 |
| ·支撑方式 | 第104-105页 |
| ·输出轴长度设计 | 第105-106页 |
| ·电极个数和激励方式 | 第106页 |
| ·极值电压和气隙厚度 | 第106-107页 |
| ·驱动系统的设计 | 第107-108页 |
| ·微电机的尺寸设计 | 第108-109页 |
| ·关键件加工 | 第109-112页 |
| ·原理试验 | 第112-114页 |
| ·系统动力学仿真 | 第114-126页 |
| ·电场力作用下柔轮径向变形模拟 | 第114-117页 |
| ·柔轮面内振动模拟 | 第117-118页 |
| ·柔轮面外振动模拟 | 第118-121页 |
| ·微型机器人车架谐响应模拟 | 第121-126页 |
| ·本章小结 | 第126-127页 |
| 结论 | 第127-129页 |
| 附录 | 第129-133页 |
| 参考文献 | 第133-141页 |
| 攻读博士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第141-142页 |
| 致谢 | 第142-143页 |
| 作者简介 | 第143页 |
