| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 石墨烯光调制器的研究现状 | 第11-19页 |
| 1.2.1 石墨烯/硅混合波导调制器 | 第12-16页 |
| 1.2.2 石墨烯/氮化硅混合波导调制器 | 第16-19页 |
| 1.3 本文研究内容以及创新点 | 第19-20页 |
| 1.4 本文组织结构 | 第20-22页 |
| 第二章 石墨烯的理论研究 | 第22-32页 |
| 2.1 石墨烯的介绍 | 第22页 |
| 2.2 石墨烯的特性 | 第22-31页 |
| 2.2.1 石墨烯力学和电学特性 | 第22-25页 |
| 2.2.2 石墨烯热学和光学特性 | 第25-27页 |
| 2.2.3 石墨烯电导率与化学势能关系 | 第27-28页 |
| 2.2.4 石墨烯介电常数与化学势能关系 | 第28-29页 |
| 2.2.5 石墨烯折射率与化学势能关系 | 第29页 |
| 2.2.6 石墨烯化学势能与外加电压关系 | 第29-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 石墨烯双条形氮化硅电光调制器的结构设计与分析 | 第32-46页 |
| 3.1 石墨烯电光调制器的基本原理 | 第32-33页 |
| 3.2 石墨烯氮化硅电光调制器的结构设计 | 第33-37页 |
| 3.2.1 光波导的结构和尺寸 | 第33页 |
| 3.2.2 器件的结构设计 | 第33-34页 |
| 3.2.3 器件的传输特性 | 第34-37页 |
| 3.3 石墨烯双条形氮化硅电光调制器的性能分析 | 第37-43页 |
| 3.3.1 器件的消光比和插入损耗 | 第37-38页 |
| 3.3.2 器件的品质因数 | 第38页 |
| 3.3.3 器件的等效电路和调制带宽 | 第38-41页 |
| 3.3.4 器件的能量消耗 | 第41-42页 |
| 3.3.5 器件的性能总结 | 第42-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-46页 |
| 第四章 石墨烯双条形氮化硅TM-Pass偏振器的结构与分析 | 第46-54页 |
| 4.1 石墨烯偏振器的研究现状 | 第46-49页 |
| 4.2 石墨烯偏振器的基本原理 | 第49页 |
| 4.3 石墨烯双条形氮化硅TM-Pass偏振器的结构和性能分析 | 第49-53页 |
| 4.3.1 器件的结构 | 第49-50页 |
| 4.3.2 器件的性能分析 | 第50-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 石墨烯氮化硅微环热光调制器的设计与制备 | 第54-88页 |
| 5.1 石墨烯热光调制器的研究现状 | 第54-56页 |
| 5.2 石墨烯微环谐振器的理论分析 | 第56-58页 |
| 5.3 石墨烯氮化硅微环热光调制器的结构设计 | 第58-63页 |
| 5.3.1 光波导的结构与设计 | 第59-60页 |
| 5.3.2 微环弯曲半径与损耗 | 第60-61页 |
| 5.3.3 石墨烯氮化硅混合波导的结构特性 | 第61页 |
| 5.3.4 波导的耦合间距和耦合长度 | 第61-62页 |
| 5.3.5 器件电极设计与整体结构 | 第62-63页 |
| 5.4 石墨烯的温度特性 | 第63-65页 |
| 5.5 石墨烯微环热光调制器的性能分析 | 第65-69页 |
| 5.5.1 器件的热调特性 | 第65-67页 |
| 5.5.2 器件的输出特性 | 第67-69页 |
| 5.6 石墨烯的转移和表征 | 第69-79页 |
| 5.6.1 石墨烯表征方法 | 第69-71页 |
| 5.6.2 石墨烯转移方法 | 第71-79页 |
| 5.7 石墨烯微环热光调制器的制备 | 第79-87页 |
| 5.7.1 掩膜版设计 | 第79-80页 |
| 5.7.2 器件制备 | 第80-87页 |
| 5.8 本章小结 | 第87-88页 |
| 第六章 结论与展望 | 第88-90页 |
| 6.1 论文总结 | 第88页 |
| 6.2 前景展望 | 第88-90页 |
| 致谢 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-100页 |
| 作者简介 | 第100页 |
