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PECVD法生长石墨烯及其锁模激光脉冲的产生

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-25页
    1.1 引言第10页
    1.2 石墨烯结构第10-12页
        1.2.1 石墨烯的结构第10-11页
        1.2.2 石墨烯能带结构第11-12页
    1.3 石墨烯特性第12-15页
        1.3.1 线性光学特性第12-13页
        1.3.2 可饱和吸收特性第13-14页
        1.3.3 光损伤阈值第14-15页
    1.4 石墨烯可饱和吸收收体传统制备方法及器件结构第15-19页
        1.4.1 机械剥离法第15-16页
        1.4.2 液相剥离法第16页
        1.4.3 化学氧化还原法第16-17页
        1.4.4 化学气相沉积法第17页
        1.4.5 石墨烯锁模器件结构第17-19页
    1.5 基于石墨烯被动锁模超快激光研究进展第19-21页
    1.6 PECVD法生长石墨烯研究进展第21-23页
    1.7 本文的选题意义和研究内容第23-25页
        1.7.1 选题意义第23页
        1.7.2 研究内容第23-25页
第二章 PECVD法生长石墨烯原理及表征方法第25-33页
    2.1 引言第25页
    2.2 PECVD 介绍第25-27页
        2.2.1 PECVD 原理第25-26页
        2.2.2 PECVD 设备系统第26-27页
    2.3 PECVD法生长石墨烯机制第27-29页
        2.3.1 石墨烯薄膜生长机理第27页
        2.3.2 直立石墨烯生长机理第27-29页
    2.4 石墨烯薄膜制备流程第29页
        2.4.1 衬底清洗第29页
        2.4.2 设备操作流程第29页
    2.5 石墨烯薄膜表征方法第29-32页
        2.5.1 紫外/可见分光光度计第29-30页
        2.5.2 拉曼光谱第30-31页
        2.5.3 X射线衍射第31-32页
        2.5.4 扫描电子显微镜第32页
    2.6 本章小结第32-33页
第三章 PECVD 法生长石墨烯参数研究第33-42页
    3.1 不同温度对石墨烯生长的研究第33-35页
        3.1.1 拉曼光谱第34-35页
        3.1.2 SEM第35页
    3.2 不同气体流量比对石墨烯生长的研究第35-37页
        3.2.1 拉曼光谱第36-37页
        3.2.2 SEM第37页
    3.3 不同Plasma功率对石墨烯生长的研究第37-39页
        3.3.1 拉曼光谱第38-39页
        3.3.2 SEM第39页
    3.4 平面/直立石墨烯生长机制第39-40页
    3.5 本章小结第40-42页
第四章 PECVD法在光纤端面生长石墨烯及其锁模脉冲产生第42-53页
    4.1 石墨烯锁模器件制备第42-43页
        4.1.1 样品制备第42页
        4.1.2 石墨烯制备第42-43页
    4.2 锁模器件表征第43-47页
        4.2.1 石墨烯形貌表征第43页
        4.2.2 线性光学表征第43-44页
        4.2.3 可饱和吸收测试第44-45页
        4.2.4 插入损耗测试第45-46页
        4.2.5 物理机械测试第46-47页
    4.3 石墨烯被动锁模光纤激光器第47-51页
        4.3.1 光纤激光器系统结构第47-48页
        4.3.2 实验结果与讨论第48-50页
        4.3.3 不同条件制备石墨烯锁模结果与讨论第50-51页
    4.4 本章小结第51-53页
第五章 总结与展望第53-55页
参考文献第55-60页
附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文第60-61页
附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目第61-62页
致谢第62页

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