基于改性碳纳米管的QCM型湿度传感器的研究
| 中文摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 湿度及湿度传感器简介 | 第12-18页 |
| 1.2.1 湿度及其表示 | 第12-13页 |
| 1.2.2 湿度检测的意义 | 第13-14页 |
| 1.2.3 湿度传感器的特性参数及其分类 | 第14-17页 |
| 1.2.4 湿度传感器的发展方向 | 第17-18页 |
| 1.3 石英晶体微天平的发展历程及其研究现状 | 第18-21页 |
| 1.3.1 石英晶体微天平的发展历程 | 第18-19页 |
| 1.3.2 石英晶体微天平传感器的研究现状 | 第19-21页 |
| 1.4 本论文的研究意义及主要内容 | 第21-23页 |
| 第2章 石英晶体微天平湿度传感器及其检测系统 | 第23-31页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 石英晶体微天平湿度传感器 | 第23-26页 |
| 2.2.1 石英晶体微天平的结构 | 第23-24页 |
| 2.2.2 QCM湿度传感器的工作原理 | 第24-25页 |
| 2.2.3 QCM湿度传感器的基本特性参数 | 第25-26页 |
| 2.3 QCM湿度传感器检测系统的搭建 | 第26-30页 |
| 2.3.1 QCM湿度传感器检测系统的组成 | 第26-27页 |
| 2.3.2 检测电路的设计 | 第27-29页 |
| 2.3.3 检测系统的搭建 | 第29-30页 |
| 2.4 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 改性碳纳米管修饰的QCM湿敏元件的制作 | 第31-39页 |
| 3.1 引言 | 第31-32页 |
| 3.2 湿敏材料的制备及表征 | 第32-36页 |
| 3.2.1 碳纳米管及其化学修饰 | 第32页 |
| 3.2.2 改性碳纳米管材料的制备 | 第32-34页 |
| 3.2.3 敏感材料的表征 | 第34-36页 |
| 3.3 QCM湿敏元件的制作 | 第36-38页 |
| 3.3.1 QCM元件的预处理 | 第36-37页 |
| 3.3.2 QCM敏感薄膜的制备方法 | 第37页 |
| 3.3.3 QCM湿敏元件的制作过程 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 实验及结果分析 | 第39-51页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 实验流程 | 第39-40页 |
| 4.3 实验结果及分析 | 第40-49页 |
| 4.3.1 空白实验 | 第42页 |
| 4.3.2 感湿特性 | 第42-44页 |
| 4.3.3 动态特性 | 第44页 |
| 4.3.4 湿滞特性 | 第44-45页 |
| 4.3.5 重复性 | 第45-46页 |
| 4.3.6 响应/恢复特性 | 第46-47页 |
| 4.3.7 稳定性 | 第47页 |
| 4.3.8 长期稳定性 | 第47-48页 |
| 4.3.9 敏感机理讨论 | 第48-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-51页 |
| 第5章 总结 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 作者简介及科研成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
