图像处理在半导体检测与追溯中的应用
摘要 | 第5-6页 |
ABSTRACT | 第6页 |
第一章 绪论 | 第9-15页 |
1.1 研究工作的背景与意义 | 第9-10页 |
1.2 国内外研究历史与现状 | 第10-11页 |
1.3 本文的主要贡献与创新 | 第11-13页 |
1.4 本论文的结构安排 | 第13-15页 |
第二章 二维码信息数据库 | 第15-24页 |
2.1 二维码在半导体生产中的应用 | 第16-17页 |
2.2 二维码打印于芯片 | 第17-20页 |
2.3 二维码识别及上传服务器 | 第20-23页 |
2.4 本章小结 | 第23-24页 |
第三章 基于图像传感器的半导体芯片检测系统 | 第24-52页 |
3.1 图像传感器的介绍 | 第24-27页 |
3.2 实现图像处理在半导体芯片制造应用 | 第27-39页 |
3.2.1 图像处理应用于芯片图像采集 | 第27-30页 |
3.2.2 图像处理应用于芯片故障分析 | 第30-34页 |
3.2.3 图像处理应用于芯片尺寸测量 | 第34-38页 |
3.2.4 图像处理应用于半导体二维码的识别 | 第38-39页 |
3.3 图像标准建模与工程参数检测 | 第39-49页 |
3.4 实时图像与二维码在数据库中关联 | 第49-51页 |
3.5 本章小结 | 第51-52页 |
第四章 分析系统 | 第52-68页 |
4.1 制程管控系统 | 第52-55页 |
4.2 数据库数据调用 | 第55-60页 |
4.3 数据分析系统及工程验证 | 第60-66页 |
4.4 硬件反馈系统及自动响应系统 | 第66-67页 |
4.5 本章小结 | 第67-68页 |
第五章 全文总结与展望 | 第68-70页 |
5.1 全文总结 | 第68页 |
5.2 后续工作展望 | 第68-70页 |
致谢 | 第70-71页 |
参考文献 | 第71-73页 |
攻硕期间取得的研究成果 | 第73-74页 |