蓝宝石泡生晶体炉的热场测量技术的研发
摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4页 |
第1章 绪论 | 第7-13页 |
1.1 课题研究背景 | 第7页 |
1.2 蓝宝石泡生法生长的原理 | 第7-9页 |
1.3 热场测量技术的研究现状 | 第9-12页 |
1.3.1 接触式测温 | 第10-11页 |
1.3.2 非接触式测温 | 第11-12页 |
1.4 课题来源 | 第12页 |
1.5 本文研究意义及主要研究内容 | 第12-13页 |
1.5.1 本论文的研究意义 | 第12页 |
1.5.2 本论文的主要研究内容 | 第12-13页 |
第2章 辐射测温系统原理的研究 | 第13-19页 |
2.1 红外辐射的基本理论 | 第13-15页 |
2.1.1 普朗克公式 | 第13-14页 |
2.1.2 斯特藩-玻尔兹曼定律 | 第14-15页 |
2.1.3 维恩位移定律 | 第15页 |
2.2 辐射测温方法 | 第15-17页 |
2.2.1 单色辐射测温法 | 第15-16页 |
2.2.2 比色测温法 | 第16-17页 |
2.3 实际测温的理论基础 | 第17-18页 |
2.3.1 光电转换定律 | 第17-18页 |
2.3.2 实际检测的热辐射 | 第18页 |
2.4 本章小结 | 第18-19页 |
第3章 热场测量技术的应用分析 | 第19-25页 |
3.1 蓝宝石晶体炉的热场分析 | 第19-20页 |
3.2 热场测量结果的分析 | 第20-24页 |
3.3 本章小结 | 第24-25页 |
第4章 便携式光纤辐射测温系统的设计 | 第25-38页 |
4.1 系统的总体设计 | 第25页 |
4.2 系统的光学部分 | 第25-27页 |
4.2.1 大功率光纤耦合器 | 第26页 |
4.2.2 传能光纤 | 第26-27页 |
4.3 系统的电路部分 | 第27-36页 |
4.3.1 光电转换模块 | 第28-29页 |
4.3.2 前置放大模块 | 第29-31页 |
4.3.3 AD采样模块 | 第31-33页 |
4.3.4 信号处理模块 | 第33-34页 |
4.3.5 电源模块 | 第34-36页 |
4.4 程序流程设计 | 第36页 |
4.5 本系统在晶体炉上的测量方法 | 第36-37页 |
4.6 本章小结 | 第37-38页 |
第5章 测温系统的标定与测试 | 第38-45页 |
5.1 测温系统的标定 | 第38-43页 |
5.1.1 插值法 | 第38页 |
5.1.2 曲线拟合法 | 第38-39页 |
5.1.3 实验标定过程 | 第39-43页 |
5.2 测温系统的测试分析 | 第43-44页 |
5.3 本章小结 | 第44-45页 |
第6章 结论 | 第45-46页 |
参考文献 | 第46-49页 |
在读期间发表的学术论文及研究成果 | 第49-50页 |
致谢 | 第50页 |