| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 AFM 机械刻划在聚合物表面加工的实验研究 | 第9-11页 |
| 1.2.2 结合刻蚀与 AFM 机械刻划的实验研究 | 第11-14页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 PMMA 掩膜性能分析 | 第15-29页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 PMMA 掩膜的制备工艺 | 第15-18页 |
| 2.2.1 PMMA 薄膜的制备 | 第15-16页 |
| 2.2.2 不同工艺参数下 PMMA 掩膜的比较 | 第16-18页 |
| 2.3 PMMA 掩膜弹性模量的测量 | 第18-23页 |
| 2.3.1 PeakForce QNM 的工作原理 | 第19-21页 |
| 2.3.2 PeakForce QNM 的校准过程 | 第21-22页 |
| 2.3.3 PeakForce QNM 的测量结果分析 | 第22-23页 |
| 2.4 AFM 在不同厚度 PMMA 掩膜上的加工实验 | 第23-28页 |
| 2.4.1 不同厚度掩膜上的加工实验条件 | 第23-24页 |
| 2.4.2 不同厚度掩膜的加工实验结果分析 | 第24-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 AFM 在 PMMA 掩膜上的加工工艺研究 | 第29-47页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 不同针尖半径对纳米刻划的影响 | 第29-33页 |
| 3.2.1 不同半径针尖的刻划结果对比 | 第29-31页 |
| 3.2.2 不同半径针尖对影响刻划结果的理论分析 | 第31-33页 |
| 3.3 方坑结构的加工 | 第33-35页 |
| 3.3.1 载荷对方坑结构的影响 | 第33-34页 |
| 3.3.2 加工速度对方坑结构的影响 | 第34页 |
| 3.3.3 进给量对方坑结构的影响 | 第34-35页 |
| 3.3.4 完整方坑结构的加工研究 | 第35页 |
| 3.4 AFM 探针重复刻划实验 | 第35-39页 |
| 3.4.1 重复刻划实验过程 | 第35-36页 |
| 3.4.2 重复刻划实验结果分析 | 第36-39页 |
| 3.5 AFM 在超声振动辅助下的加工实验研究 | 第39-45页 |
| 3.5.1 AFM 超声振动辅助加工的实验设备 | 第40-41页 |
| 3.5.2 超声振动辅助加工的实验步骤及结果分析 | 第41-43页 |
| 3.5.3 超声振动辅助加工的原理分析 | 第43-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 纳米结构的反应离子刻蚀实验 | 第47-62页 |
| 4.1 引言 | 第47页 |
| 4.2 反应离子刻蚀简介 | 第47-49页 |
| 4.3 反应离子刻蚀实验 | 第49-61页 |
| 4.3.1 RIE 设备及参数 | 第49-50页 |
| 4.3.2 不同厚度掩膜的刻蚀结果对比分析 | 第50-55页 |
| 4.3.3 优化的 RIE 工艺方案设计 | 第55-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
