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电弧离子镀AlCrSi(O)N刀具涂层的制备及切削性能研究

摘要第6-7页
abstract第7-8页
第1章 绪论第9-19页
    1.1 引言第9-10页
    1.2 刀具涂层的发展及现状第10-16页
        1.2.1 常规涂层第11-13页
        1.2.2 新型涂层第13-16页
    1.3 刀具涂层的制备技术第16-18页
        1.3.1 物理气相沉积技术第16-17页
        1.3.2 化学气相沉积技术第17页
        1.3.3 物理化学气相沉积技术第17-18页
    1.4 电弧离子镀第18页
    1.5 论文研究目的及内容第18-19页
第2章 实验方法第19-32页
    2.1 技术路线第19页
    2.2 涂层制备第19-24页
        2.2.1 基体材料第19-21页
        2.2.2 靶材与气体第21页
        2.2.3 电弧离子镀设备第21-23页
        2.2.4 基体夹具及固定第23页
        2.2.5 辉光、轰击清洗及制备Cr过渡层第23-24页
    2.3 涂层的组织结构分析第24-25页
        2.3.1 涂层厚度测试第24页
        2.3.2 成分及结构分析第24-25页
        2.3.3 显微形貌分析第25页
    2.4 涂层性能测试第25-28页
        2.4.1 涂层的硬度第25-26页
        2.4.2 涂层的残余应力第26-27页
        2.4.3 涂层的摩擦磨损性能第27-28页
    2.5 涂层的热处理试验第28-29页
    2.6 涂层刀具的切削试验第29-31页
        2.6.1 实验条件第29页
        2.6.2 实验方案第29-31页
    2.7 本章小结第31-32页
第3章 直流基体偏压对AlCrSiN涂层结构和力学性能的影响第32-41页
    3.1 引言第32页
    3.2 沉积工艺参数第32-33页
    3.3 直流基体偏压对涂层成分与结构的影响第33-35页
    3.4 直流基体偏压对涂层显微形貌的影响第35-36页
        3.4.1 涂层表面形貌第35页
        3.4.2 涂层的截面形貌第35-36页
    3.5 直流基体偏压对涂层力学性能的影响第36-38页
        3.5.1 涂层硬度与弹性模量第36-37页
        3.5.2 涂层的残余应力第37-38页
    3.6 直流基体偏压对涂层摩擦磨损性能的影响第38-40页
        3.6.1 涂层的摩损率与磨痕形貌第38-39页
        3.6.2 涂层的摩擦系数第39-40页
    3.7 本章小结第40-41页
第4章 反应沉积时氧气流量对AlCrSiON涂层的影响第41-53页
    4.1 引言第41页
    4.2 沉积工艺参数第41-42页
    4.3 涂层的成分与物相第42-44页
    4.4 涂层的微观组织第44-46页
        4.4.1 涂层的表面形貌第44-45页
        4.4.2 涂层的截面形貌第45-46页
    4.5 涂层的力学性能第46-47页
        4.5.1 涂层的硬度与弹性模量第46-47页
    4.6 涂层的摩擦磨损性能第47-50页
    4.7 涂层的热稳定性第50-52页
        4.7.1 热处理后涂层的物相分析第50页
        4.7.2 热处理后涂层的微观形貌第50-52页
    4.8 本章小结第52-53页
第5章 涂层刀具切削性能的对比研究第53-59页
    5.1 引言第53页
    5.2 沉积工艺参数第53-54页
    5.3 刀具涂层厚度第54页
    5.4 刀具的切削性能研究第54-58页
        5.4.1 不同涂层刀具的切削力分析第54-55页
        5.4.2 不同涂层刀具的磨损分析第55-58页
    5.5 本章小结第58-59页
第6章 总结与展望第59-61页
参考文献第61-70页
致谢第70-71页
申请硕士学位期间的研究成果及发表的学术论文第71页

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