| 摘要 | 第2-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 研究背景与研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 等离子体的一般描述方法 | 第10-13页 |
| 1.2.1 等离子体的定义及其重要特性 | 第10-11页 |
| 1.2.2 等离子体的分类 | 第11-12页 |
| 1.2.3 等离子体的一般描述方法 | 第12-13页 |
| 1.3 辉光放电原理分析 | 第13-18页 |
| 1.3.1 辉光放电的产生与条件 | 第14-15页 |
| 1.3.2 汤生放电理论 | 第15-17页 |
| 1.3.3 辉光放电过程中的反转电场 | 第17-18页 |
| 1.4 气体放电的非对称性 | 第18-19页 |
| 1.5 研究工作和内容安排 | 第19-22页 |
| 2 细长圆管内低气压氩气射频辉光放电等离子体的数值模型 | 第22-35页 |
| 2.1 低温等离子体的数值研究方法 | 第22-25页 |
| 2.1.1 几种数值模型及相应优缺点 | 第22-24页 |
| 2.1.2 数值模拟研究现状 | 第24-25页 |
| 2.2 细长圆管内低气压氩气射频辉光放电等离子体的流体模型建立 | 第25-28页 |
| 2.2.1 模拟模型及模型的基本假设 | 第25-26页 |
| 2.2.2 流体模型方程 | 第26-28页 |
| 2.3 流体模型的计算方法 | 第28-33页 |
| 2.3.1 分量方程 | 第28页 |
| 2.3.2 初始和边界条件 | 第28-29页 |
| 2.3.3 无量纲化 | 第29-30页 |
| 2.3.4 差分格式 | 第30-32页 |
| 2.3.5 计算步骤 | 第32-33页 |
| 2.3.6 计算所需参数 | 第33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 3 细长圆管内低气压氩气射频辉光放电中放电结构的演化特性研究 | 第35-42页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 不同放电阶段放电结构的演化特性 | 第35-38页 |
| 3.2.1 电势和电场的演化 | 第36页 |
| 3.2.2 电子密度和离子密度的演化 | 第36-37页 |
| 3.2.3 电子温度和电离率的演化 | 第37-38页 |
| 3.3 稳态下放电结构的演化特性 | 第38-41页 |
| 3.3.1 电势和电场的演化 | 第38-39页 |
| 3.3.2 电子密度和离子密度的演化 | 第39-40页 |
| 3.3.3 电子温度和电离率的演化 | 第40-41页 |
| 3.4 本章小结 | 第41-42页 |
| 4 细长圆管内低气压氩气射频辉光放电中放电结构的物理特性研究 | 第42-56页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 中性气体压强对放电结构的影响 | 第42-45页 |
| 4.2.1 中性气体压强对电势、电场的影响 | 第42-43页 |
| 4.2.2 中性气体压强对等离子体密度的影响 | 第43-44页 |
| 4.2.3 中性气体压强对反转电场的影响 | 第44页 |
| 4.2.4 中性气体压强对电子温度、电离率的影响 | 第44-45页 |
| 4.3 电压幅值对放电结构的影响 | 第45-47页 |
| 4.3.1 电压幅值对电势、电场的影响 | 第46页 |
| 4.3.2 电压幅值对等离子体密度的影响 | 第46页 |
| 4.3.3 电压幅值对反转电场的影响 | 第46-47页 |
| 4.3.4 电压幅值对电子温度、电离率的影响 | 第47页 |
| 4.4 射频频率对放电结构的影响 | 第47-49页 |
| 4.4.1 射频频率对电势、电场的影响 | 第48页 |
| 4.4.2 射频频率对等离子体密度的影响 | 第48页 |
| 4.4.3 射频频率对反转电场的影响 | 第48-49页 |
| 4.4.4 射频频率对电子温度、电离率的影响 | 第49页 |
| 4.5 驱动电极半径对放电结构的影响 | 第49-52页 |
| 4.5.1 驱动电极半径对电势、电场的影响 | 第50页 |
| 4.5.2 驱动电极半径对等离子体密度的影响 | 第50页 |
| 4.5.3 驱动电极半径对反转电场的影响 | 第50-52页 |
| 4.5.4 驱动电极半径对电子温度、电离率的影响 | 第52页 |
| 4.6 圆管内半径对放电结构的影响 | 第52-54页 |
| 4.6.1 圆管内半径对电势、电场的影响 | 第52-53页 |
| 4.6.2 圆管内半径对等离子体密度的影响 | 第53页 |
| 4.6.3 圆管内半径对反转电场的影响 | 第53-54页 |
| 4.6.4 圆管内半径对电子温度、电离率的影响 | 第54页 |
| 4.7 本章小结 | 第54-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 对未来工作的展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-63页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |
