| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2 主要研究内容 | 第16-18页 |
| 2 波导探测器偏振相关性研究 | 第18-57页 |
| 2.1 偏振分析的理论基础 | 第18-28页 |
| 2.2 III-V族化合物波导探测器的偏振依赖性研究 | 第28-42页 |
| 2.3 IV族材料波导探测器偏振依赖性的研究 | 第42-56页 |
| 2.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 3 GeOI衬底波导APD的研究 | 第57-81页 |
| 3.1 波导APD的设计 | 第57-61页 |
| 3.2 APD的性能仿真与分析 | 第61-70页 |
| 3.3 GeOI衬底波导APD的工艺设计 | 第70-71页 |
| 3.4 硅锗波导APD的宽谱特性研究 | 第71-80页 |
| 3.5 本章小结 | 第80-81页 |
| 4 总结与展望 | 第81-83页 |
| 4.1 总结 | 第81页 |
| 4.2 展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-91页 |
| 附录I 攻读硕士学位期间发表论文和科研情况说明 | 第91页 |