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超精密大尺寸直线度反转法测量的重复定位问题研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
第一章 绪论第9-18页
    1.1 选题背景和研究意义第9-10页
    1.2 国内外研究现状第10-16页
        1.2.1 直线度测量方法现状第10-11页
        1.2.2 误差分离方法研究现状第11-15页
        1.2.3 当前直线度测量方法的局限性第15-16页
    1.3 本文研究思路和主要工作内容第16-18页
        1.3.1 本文研究思路第16-17页
        1.3.2 本文主要工作内容第17-18页
第二章 重复定位精度对反转法直线度测量精度影响分析第18-31页
    2.1 反转法直线度测量第18-19页
    2.2 定位误差影响分析第19-27页
        2.2.1 平移量定位误差对直线度误差分离的影响第21-23页
        2.2.2 角度量定位误差对直线度误差分离的影响第23-27页
        2.2.3 定位误差对直线度误差分离的影响程度第27页
    2.3 定位误差影响仿真第27-30页
        2.3.1 高斯分布的随机平面构造方法第27-29页
        2.3.2 定位误差对直线度测量结果影响仿真第29-30页
    2.4 本章小结第30-31页
第三章 反转直线的测量定位方法第31-47页
    3.1 直线端点测量定位方法第31-35页
        3.1.1 y方向定位原理第33-34页
        3.1.2 x、z方向定位原理第34-35页
    3.2 直线端点定位精度分析第35-45页
        3.2.1 y方向定位精度分析第35-37页
        3.2.2 x、z方向定位精度分析第37-45页
    3.3 直线滚转角测量定位方法第45页
    3.4 直线滚转角定位精度分析第45-46页
    3.5 本章小结第46-47页
第四章 重复定位平台设计与重复定位精度分析第47-53页
    4.1 直线所在平面的六维调整方法第47-48页
        4.1.1 直线五维调整法第47-48页
        4.1.2 直线六维调整法第48页
    4.2 直线六维调整平台设计第48-49页
        4.2.1 微位移平台选择第48-49页
        4.2.2 直线六维调整平台第49页
    4.3 直线重复定位精度分析第49-52页
        4.3.1 x、y、z方向重复定位精度第50-51页
        4.3.2 滚转角重复定位精度分析第51页
        4.3.3 偏摆角重复定位精度分析第51-52页
        4.3.4 俯仰角重复定位精度分析第52页
    4.4 本章小结第52-53页
第五章 反转法直线度测量实验第53-76页
    5.1 反转法直线度测量平台第53-54页
    5.2 单点测量实验第54-56页
    5.3 直线单侧扫描实验第56-59页
        5.3.1 单侧连续扫描实验第56-57页
        5.3.2 单侧逐点扫描实验第57-59页
    5.4 直线反转测量实验第59-72页
        5.4.1 直线六维重复定位的直线度反转测量实验第59-62页
        5.4.2 引入定位误差直线度反转测量实验第62-72页
    5.5 测量不确定度分析第72-75页
        5.5.1 反转法直线度测量误差来源分析第72-73页
        5.5.2 测量不确定度的评定第73-75页
    5.6 本章小结第75-76页
第六章 全文总结第76-78页
    6.1 本文研究内容第76-77页
    6.2 本文的创新点与进步点第77页
    6.3 不足之处与展望第77-78页
致谢第78-79页
参考文献第79-84页
附录A 攻读硕士学位期间发表的学术论文第84页
附录B 攻读硕士学位期间参加的学术活动第84页
附录C 实验平台设计图纸第84-99页

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